標準解讀

GB/T 14603-1993 是一項中華人民共和國國家標準，全稱為《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》。該標準主要規(guī)定了電子工業(yè)中使用的三氟化硼氣體的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求，旨在確保三氟化硼氣體的質(zhì)量滿足電子工業(yè)的特定應用需求。

標準內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：明確了本標準適用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中使用的三氟化硼氣體，規(guī)定了其基本要求及測試評估方法。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了實施本標準時所依據(jù)或參考的其他相關標準和文件，確保各項要求和技術指標的一致性和協(xié)調(diào)性。

  3. 技術要求：

    • 純度：規(guī)定了三氟化硼氣體的最低純度要求，通常以體積分數(shù)或質(zhì)量分數(shù)表示，以去除可能影響電子元件性能的雜質(zhì)。
    • 水含量：限制了氣體中的水分含量，因為水分可能對電子器件的制造過程產(chǎn)生不利影響。
    • 酸性物質(zhì)和堿性物質(zhì)含量：設定了酸堿性物質(zhì)的限量，以防止這些物質(zhì)對半導體材料造成腐蝕或污染。
    • 其它雜質(zhì)含量：根據(jù)具體應用，可能還會對如氧氣、氮氣等其他可能存在的雜質(zhì)作出限制。

  4. 試驗方法：詳細描述了如何通過化學分析、氣相色譜等手段來檢測三氟化硼氣體的純度、雜質(zhì)含量等關鍵指標，確保檢測結果的準確性和可重復性。

  5. 檢驗規(guī)則：包括產(chǎn)品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、判定規(guī)則等，以保證每批次產(chǎn)品的質(zhì)量符合標準要求。

  6. 包裝、標志、運輸和儲存：

    • 包裝：規(guī)定了氣體容器的材質(zhì)、密封性要求，以及必要的安全標識。
    • 標志：要求在包裝上明確標注產(chǎn)品名稱、規(guī)格、批號、生產(chǎn)日期、有效期、生產(chǎn)廠家等信息。
    • 運輸：提供了運輸過程中的安全措施和注意事項，以避免泄漏、火災等危險情況。
    • 儲存：說明了適宜的儲存條件，如溫度、壓力、避光等，以維持氣體品質(zhì)并確保使用安全。

此標準的實施有助于提升電子工業(yè)用三氟化硼氣體的質(zhì)量控制水平，保障半導體制造和其他精密電子加工過程的順利進行。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 14603-2009
  • 1993-08-26 頒布
  • 1994-07-01 實施
?正版授權
GB/T 14603-1993電子工業(yè)用氣體三氟化硼_第1頁
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UDC661G86中華人民共和國國家標準CB/T14603—93電子工業(yè)用氣體三氟化硼Gasesforelectronicindustry-Borontrifluoride1993-08-26發(fā)布1994-07-01實施國家技術監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國國家標準電子工業(yè)用氣體三氟化硼GB/T14603-93中中國標準出版社出版發(fā)行北京西城區(qū)復興門外三里河北街16號郵政編碼：100045電話：63787337、637874471994年5月第一版2006年3月電子版制作書號：155066·1-24530版權專有權必究舉報電話：（010)68533533

中華人民共和國國家標準GB/T14603-93電子工業(yè)用氣體三氟化硼Gasesforelectronicindustry-Borontrifluoride主題內(nèi)容與適用范臣本標準規(guī)定了三氟化硼產(chǎn)品的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標志、運輸、財存和安全要求。本標準適用于以氟硼酸鈉為原料，采用熱分解法制得的三氟化硼。主要用于半導體器件和集成電路生產(chǎn)的離子注入和摻雜。分子式：BF，相對分子質(zhì)量：67.805(按1989年國際相對原子質(zhì)量）2引用標準GB190危險貨物包裝標志GB4844氮氣GB4845氮氣檢驗方法氣體分析GB5274校準用混合氣體的制備稱量法GB5275氣體分析校準用混合氣體的制備診透法GB7144氣瓶顏色標記GB116406招合金無縫氣瓶3技術要求三氟化硼的質(zhì)量應符合下表的技術要求。優(yōu)等品一等品合格品三氟化硼純度,10-99.99599.9599.6空氣含量,10-1004000二氧化硫含量，10-10四氟化硅含量，10-20300硫酸鹽合量，10-10注：D表中純度和含量均為摩爾分數(shù)。)質(zhì)量保證期一年。試驗方法4

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