JJF 1944-2021電容式測微儀校準規范

中華人民共和國國家計量技術規范

JJF1944—2021

電容式測微儀校準規范

CalibrationSpecificationforCapacitanceComparators

2021-12-08發布2022-06-08實施

國家市場監督管理總局發布

JJF1944—2021

電容式測微儀校準規范??

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?JJF1944—2021?

CalibrationSpecificationfor??

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?代替JJG570—2006?

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CapacitanceComparators

歸口單位全國幾何量工程參量計量技術委員會

:

主要起草單位河南省計量科學研究院

:

中國計量科學研究院

參加起草單位遼寧省計量科學研究院

:

江蘇省計量科學研究院

天津大學

本規范委托全國幾何量工程參量計量技術委員會負責解釋

JJF1944—2021

本規范主要起草人

:

賈曉杰河南省計量科學研究院

()

崔建軍中國計量科學研究院

()

黃玉珠河南省計量科學研究院

()

周強河南省計量科學研究院

()

參加起草人

:

劉娜遼寧省計量科學研究院

()

王曉飛江蘇省計量科學研究院

()

段發階天津大學

()

JJF1944—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

概述

2……………………(1)

計量特性

3………………(1)

重復性

3.1………………(1)

示值誤差

3.2……………(1)

穩定性

3.3………………(2)

校準條件

4………………(2)

環境條件

4.1……………(2)

校準用標準器及相應設備

4.2…………(2)

校準項目和校準方法

5…………………(2)

校準前準備

5.1…………(2)

重復性

5.2………………(2)

示值誤差

5.3……………(3)

穩定性

5.4………………(4)

校準結果的表達

6………………………(4)

復校時間間隔

7…………(5)

附錄量程的電容式測微儀示值誤差的測量數據處理實例

A20μm………………(6)

附錄測量擋板的技術要求

B…………(7)

附錄精密測長裝置

C…………………(8)

附錄校準證書信息及內頁格式

D……………………(9)

附錄電容式測微儀示值誤差校準不確定度評定示例精密測長裝置法

E()……(10)

附錄電容式測微儀示值誤差校準不確定度評定示例量塊測量法

F()…………(13)

Ⅰ

JJF1944—2021

引言

國家計量校準規范編寫規則通用計量術語及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定義測量儀器特性評定和測量不確定度評

》、JJF1094—2002《》JJF1059.1—2012《

定與表示共同構成支撐本規范修訂的基礎性系列規范

》。

與電容式測微儀相比除編輯性修改外本規范主要技術變化

JJG570—2006《》,,

如下

:

適用范圍由量程不大于分辨力為擴大為量程

———“2000μm,1nm~0.5μm”“

為分辨力為的電容式測微儀的校準

20μm~10mm,1nm~1μm”;

刪除了引用文獻

———“”;

修改了電容式測微儀結構示意圖和電容式測微儀的測頭示意圖

———;

修改示值重復性為重復性并對其技術指標和校準方法進行了重新描

———“”“”,

述增加了重復性計算公式

,;

刪除了響應時間鑒別力和調零范圍技術指標

———“”“”“”;

修改了示值誤差技術指標并對其校準方法進行了重新描述

———,;

修改了穩定性的校準方法

———“”;

刪除了指針式電容測微儀的計量性能要求

———“”;

增加了附錄量程的電容式測微儀示值誤差的測量數據處理實例

———“A20μm”;

修改了附錄中標準擋板為測量擋板修改了測量擋板的直徑要求

———B“”“”;;

增加了附錄精密測長裝置結構示意圖

———C。

本規范的歷次版本發布情況為

:

———JJG570—2006;

———JJG570—1988。

Ⅱ

JJF1944—2021

電容式測微儀校準規范

1范圍

本規范適用于量程為分辨力為的電容式測微儀的

20μm~10mm,1nm~1μm

校準

。

2概述

電容式測微儀以下簡稱測微儀是采用電容調頻或電容運算原理的一種非接觸式

()

尺寸精密測量儀器適用于航空醫療精密制造等行業中的幾