標準解讀

《YS/T 826-2012 五氧化二鈮靶材》是一項關于五氧化二鈮靶材的技術標準，該標準詳細規定了五氧化二鈮靶材的要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存等方面的內容。根據此標準，五氧化二鈮靶材主要用于半導體工業中的薄膜沉積過程。

標準中對五氧化二鈮靶材的化學成分進行了明確規定，包括主成分Nb?O?的含量要求以及其他可能存在的雜質元素的最大允許量。此外，還定義了幾何尺寸和外觀質量的標準，確保產品能夠滿足特定應用需求的同時也便于加工處理。

在物理性能方面，《YS/T 826-2012》提出了密度、電阻率等關鍵參數的具體數值范圍或最低要求，這些指標對于評估材料是否適合用作濺射源至關重要。同時，考慮到實際使用過程中可能遇到的各種條件，標準還涵蓋了耐熱性等相關特性測試的方法與合格標準。

為了保證產品質量一致性，《YS/T 826-2012》制定了嚴格的取樣規則及相應的檢測程序。這包括但不限于化學成分分析、尺寸測量、表面缺陷檢查等一系列操作流程。通過遵循這套體系化的檢驗指南，可以有效控制生產過程中的變異性，并及時發現潛在問題。

最后，在產品的標識、包裝方式選擇上也給出了指導建議，旨在保護產品免受損害的同時方便用戶識別相關信息；而關于運輸與存儲的規定，則是為了確保在整個物流鏈條中維持良好的狀態直至最終到達使用者手中。


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....

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  • 現行
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  • 2012-11-07 頒布
  • 2013-03-01 實施
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文檔簡介

ICS77160

H72.

中華人民共和國有色金屬行業標準

YS/T826—2012

五氧化二鈮靶材

Niobiumpentoxidetargetmaterial

2012-11-07發布2013-03-01實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

YS/T826—2012

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位西北稀有金屬材料研究院中國有色金屬工業標準計量質量研究所

:、。

本標準主要起草人王鵬張紅梅佂衛星扈百直吳紅張憲銘張江峰

:、、、、、、。

Ⅰ

YS/T826—2012

五氧化二鈮靶材

1范圍

本標準規定了五氧化二鈮靶材的要求試驗方法檢驗規則標志包裝運輸貯存質量證明書和

、、、、、、、

合同或訂貨單內容

()。

本標準適用于以五氧化二鈮粉末為原料采用真空熱壓工藝制成的五氧化二鈮靶材

,。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

致密燒結金屬材料與硬質合金密度測定方法

GB/T3850

所有部分鉭鈮化學分析方法

GB/T15076()

3要求

31化學成分

.

311產品化學成分應符合表規定

..1。

表1化學成分質量分數

()%

主成分雜質含量不大于

,

雜質

Nb2O5TaFeSiAlCrCuMnMoNiSnTiW總和

余量

0.0080.0010.0050.0010.0010.0010.0010.0010.0010.0010.0010.001≤0.01

312主成分含量用減量法計算

..。

32密度

.

產品的密度應不小于3

4.46g/cm。

33尺寸及允許偏差表面粗糙度和平面度

.、

產品的形狀尺寸及允許偏差表面粗糙度和平面度應符合供需雙方簽訂的技術圖樣

、、。

34外觀質量

.

341產品的顏色應均勻

..。

342產品的表面應平整無裂紋無異物無明顯的針孔孔洞和印記

..,,,、。

4試驗方法

41產品的化學成分檢驗按

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