CN118967695B 用于dfb激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng) （江蘇永鼎股份有限公司）

用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測方本發(fā)明提供了用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng)，涉及圖像處理技術(shù)領(lǐng)根據(jù)芯片表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測因子進行期望偏離獲得多個芯片區(qū)域表面質(zhì)量系數(shù)；繪制DFB激光芯片質(zhì)量檢測方法通常依賴簡單的圖像處理算陷的識別能力有限，導(dǎo)致檢測精度低的技術(shù)問2根據(jù)芯片表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測因子進行期望偏離檢測學(xué)習(xí)，搭建芯片基于所述芯片表面質(zhì)量偏離檢測通道，根據(jù)芯片表面質(zhì)量梳理函其中，根據(jù)芯片表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測因子進行期望偏離檢根據(jù)所述芯片表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測因子進行芯片檢測記錄回溯基于所述芯片紋理特征偏離檢測記錄進行期望偏離檢測學(xué)習(xí)基于所述芯片幾何特征偏離檢測記錄進行期望偏離檢測學(xué)習(xí)基于所述芯片微結(jié)構(gòu)特征偏離檢測記錄進行期望偏離檢測學(xué)習(xí)將所述芯片紋理特征偏離檢測通道、所述芯片幾何特征偏離基于所述芯片表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測因子對所述第一芯片區(qū)域圖像第一芯片區(qū)域紋理檢測信息、第一芯片區(qū)域幾何檢測信息和第一芯片區(qū)域微結(jié)構(gòu)檢測信基于所述第一芯片區(qū)域紋理檢測信息、所述第一芯片區(qū)域幾何檢測將所述第一芯片區(qū)域紋理特征偏離系數(shù)、所述第一芯片區(qū)域幾將所述第一芯片區(qū)域表面質(zhì)量系數(shù)添加至所述多個芯片區(qū)域表芯片表面質(zhì)量梳理函數(shù)和所述芯片表面質(zhì)量偏離檢測通道繼續(xù)對所述多個芯片區(qū)域圖像;3;(x,y)表征芯片全景圖像中(x,y)位置上的灰度值，mean表征芯片全景圖像的平均灰度值，3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，基于所述多個區(qū)域種子點，對所述芯片梯度平滑圖像進行分水所述芯片紋理特征偏離檢測記錄包括芯片區(qū)域紋理特征期望記錄、根據(jù)所述芯片區(qū)域紋理特征期望記錄、所述芯片區(qū)域紋理特征檢以所述K個芯片紋理特征偏離檢測模型的輸出數(shù)據(jù)集為輸入信息，以所述芯片區(qū)域紋將所述K個芯片紋理特征偏離檢測模型作為并行獨立節(jié)點合并，生成芯片紋理特征偏將所述芯片紋理特征偏離檢測處理層與所述芯片紋理特征偏離檢測融合模型的輸入基于所述芯片表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測因子對所述第一芯片區(qū)域圖像的芯片區(qū)域進行多特將所述第一芯片區(qū)域紋理期望信息和所述第一芯片區(qū)域紋理檢測信息輸入芯片紋理4基于所述第一芯片區(qū)域幾何期望信息和所述第一芯片區(qū)基于所述第一芯片區(qū)域微結(jié)構(gòu)期望信息和所述第一芯片區(qū)域微結(jié)構(gòu)6.用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測系統(tǒng)，其特特征分割模塊，所述特征分割模塊用于根據(jù)所述DFB激光器芯片圖像進行分水嶺特征檢測學(xué)習(xí)模塊，所述檢測學(xué)習(xí)模塊用于根據(jù)芯片表面結(jié)構(gòu)質(zhì)質(zhì)量分析模塊，所述質(zhì)量分析模塊用于基于所述芯片表面質(zhì)量檢測云圖繪制模塊，所述檢測云圖繪制模塊用于根據(jù)所述多個芯片區(qū)域表面質(zhì)量系5[0001]本發(fā)明涉及圖像處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢[0003]本申請通過提供了用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng)，旨在解片圖像增強函數(shù)對所述芯片全景圖像進行增強處理，獲得DFB激光器芯片圖像；根據(jù)所述6[0008]上述說明僅是本申請技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚[0009]圖1為本申請實施例提供的用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測方法流程示[0010]圖2為本申請實施例提供的用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示[0012]本申請實施例通過提供用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測方法及系統(tǒng)，解7[0016]DFB激光器芯片是一種利用衍射光柵產(chǎn)生反饋的半導(dǎo)體激光器芯片，它的表面結(jié)構(gòu)非常精密，通常用于光通信等高精度領(lǐng)域，DFB芯片的結(jié)構(gòu)特征對于其光學(xué)性能非常關(guān)[0017]根據(jù)芯片圖像增強函數(shù)對所述芯片全景圖像進行增強處理，獲得DFB激光器芯片;;8將每個區(qū)域的表面質(zhì)量系數(shù)以顏色編碼的方式呈現(xiàn)在云圖中，最終得到DFB激光器芯片表9所述芯片幾何特征偏離檢測記錄進行期望偏離檢測學(xué)習(xí)，搭建芯片幾何特征偏離檢測通同樣的方法獲取芯片幾何特征偏離檢測記錄，該記錄涉及芯片表面幾何形狀的偏離情況，特征檢測記錄和芯片區(qū)域紋理特征偏離系數(shù)記錄；根據(jù)所述芯片區(qū)域紋理特征期望記錄、所述芯片區(qū)域紋理特征檢測記錄和所述芯片區(qū)域紋理特征偏離系數(shù)記錄，對K個期望偏離測記錄，預(yù)測出該芯片區(qū)域的紋理特征偏離情況，最終獲得K個芯片紋理特征偏離檢測模[0050]將訓(xùn)練的K個芯片紋理特征偏離檢測模型應(yīng)用于測試集或新數(shù)據(jù)集，收集它們的[0051]將訓(xùn)練好的K個偏離檢測模型設(shè)置為并行的計算節(jié)點，每個模型獨立處理輸入的[0052]將處理層與融合模型集成在一起，生成一個完整的芯片分別對所述多個芯片區(qū)域圖像進行表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量分析，獲得多個芯片區(qū)域表面質(zhì)量系數(shù)，量檢測因子對所述第一芯片區(qū)域圖像進行多特征檢測，獲得第一芯片區(qū)域紋理檢測信息、檢測信息、所述第一芯片區(qū)域幾何檢測信息和所述第一芯片區(qū)域微結(jié)構(gòu)檢測信息進行分[0061]基于所述芯片表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測因子對所述第一芯片區(qū)域圖像的芯片區(qū)域進行期望信息是該區(qū)域幾何形狀的期望信息，期望信息可以來自芯片設(shè)計圖紙或標(biāo)準(zhǔn)制造規(guī)芯片區(qū)域紋理特征偏離系數(shù)，這個系數(shù)可以定量表示該區(qū)域的表面紋理與理想狀態(tài)的差;;[0070]綜上所述，本申請實施例所提供的用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測方法[0072]實施例二，基于與前述實施例中用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測方法相征分割模塊30，所述特征分割模塊30用于根據(jù)所述DFB激光器芯片圖像進行分水嶺特征分測云圖繪制模塊60，所述檢測云圖繪制模塊60用于根據(jù)所述多個芯片區(qū)域表面質(zhì)量系數(shù)，;所述芯片幾何特征偏離檢測記錄進行期望偏離檢測學(xué)習(xí)，搭建芯片幾何特征偏離檢測通特征檢測記錄和芯片區(qū)域紋理特征偏離系數(shù)記錄；根據(jù)所述芯片區(qū)域紋理特征期望記錄、所述芯片區(qū)域紋理特征檢測記錄和所述芯片區(qū)域紋理特征偏離系數(shù)記錄，對K個期望偏離量檢測因子對所述第一芯片區(qū)域圖像進行多特征檢測，獲得第一芯片區(qū)域紋理檢測信息、[0085]基于所述芯片表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測因子對所述第一芯片區(qū)域圖像的芯片區(qū)域進行;[0088]本說明書通過前述對用于DFB激光器芯片的表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測