標準解讀

《GB/T 11068-2006 砷化鎵外延層載流子濃度 電容-電壓測量方法》相比于其前版《GB/T 11068-1989 砷化鎵外延層載流子濃度電容-電壓測量方法》，主要在以下幾個方面進行了更新和調整：

  1. 技術內容的更新：2006版標準根據近二十年來砷化鎵材料及半導體測試技術的發展，對電容-電壓（C-V）測量的理論基礎、測量設備要求、以及數據處理方法等方面進行了修訂，以適應更精確、更高效的測量需求。

  2. 測量精度提升：新標準可能引入了更嚴格的誤差控制標準和更先進的校準方法，旨在提高測量結果的準確性和重復性，從而更好地滿足現代微電子和光電子器件對砷化鎵外延層高質量的要求。

  3. 測試程序優化：針對電容-電壓測量的具體操作步驟，2006版標準可能提供了更加詳細和規范的操作流程，包括樣品制備、測試環境控制、以及測試參數的選擇等，以確保測試過程的一致性和可靠性。

  4. 儀器設備要求：考慮到科技進步，新標準可能會對用于測量的電容-電壓測試儀、溫度控制系統等設備的技術指標提出新的或更高的要求，以符合現代測量技術的標準。

  5. 適用范圍調整：雖然兩版標準均聚焦于砷化鎵外延層載流子濃度的測量，但2006版可能根據新材料、新結構的應用擴展了標準的適用范圍，或對特定類型的砷化鎵外延層（如不同摻雜類型、不同厚度或特定應用領域的外延層）的測量給出了特別指導。

  6. 術語和定義更新：為了與國際標準接軌并反映行業最新進展，2006版標準可能對相關專業術語和定義進行了修訂或增補，以增強標準的通用性和理解度。

  7. 標準化引用文件：新版標準會更新引用的國家標準和國際標準清單，確保所采用的方法和要求與當前的標準化體系保持一致，提升了標準的權威性和兼容性。


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  • 2006-07-18 頒布
  • 2006-11-01 實施
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文檔簡介

ICS77.040.01H17中華人民共和國國家標準GB/T11068-2006代替GB/T11068—1989砷化家外延層載流子濃度電容-電壓測量方法Galliumarsenideepitaxiallayer-Determinationofcarrierconcentrationvoltage-capacitancemethod2006-07-18發布2006-11-01實施中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局愛布中國國家標準化管理委員會

GB/T11068-2006本標準是對GB/T11068—1989《砷化家外延層載流子濃度電容-電壓測量方法》的修訂。本標準在原標準基礎上.參考DIN50439《電容-電壓法和汞探針測定半導體單品材料摻雜劑的濃度部面分布》編制的。本標準與原標準相比主要變動如下：-原標準規定,在制作高阻襯底樣品的歐姆電極時，要在氮氣保護及400℃下合金化5min,而經驗表明,在350℃～450℃的溫度下合金化.都可得到好的歐姆接觸電極·故將此項要求改為在350C～400℃及氮氣保護下.合金化5min～10min；取消了原標準對環境的要求，因為在通常的實驗室條件下.所用儀器和測試方法本身對環境溫度和濕度并不十分敏感.特別是成套儀器。但由于載流子濃度與溫度有關.故應在測量報告中標明測量時的環境溫度；簡化了原標準關于電容儀校準的文字表述本標準自實施之日起代替GB/T11068—1989.本標準由中國有色金屬工業協會提出。本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口。本標準起草單位：北京有色金屬研究總院。本標準主要起草人：王彤涵。本標準由全國有色金屬標準化技術委員會負責解釋。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為：-GB/T11068-1989。

GB/T11068-2006砷化家外延層載流子濃度電容-電壓測量方法1范圍本標準規定了砷化鏢外延層載流子濃度電容-電壓測量方法.適用于砷化家外延層基體材料中載流子濃度的測量。測量范圍：1×10.cm-a～5×10！cm-a2術語和定義下列術語和定義適用于本標準2擊穿電壓breakdownvoltage當反向偏壓增加到某一值時,肖特基結就失去阻擋作用,反向電流迅速增大時的電壓值22接觸面積Contactarca汞探針與試樣表面的有效接觸面積。23剪壘電容barriercapacitance半導體內垂直于接觸面的空間電荷區的電容。勢壘寬度barrierwvidth起勢全作用的空間電荷區的線性寬度。2.5載流子濃度縱向分布ongitudinaldistributionofcarrierconcentration自半導體表面向體內垂直方向上載流子濃度與深度的對應關系。3原理汞探針與砷化鏢表面接觸形成肖特基勢壘.當反向偏壓增大時,勢壘區向砷化家內部擴展。用高頻小訊號測量某一反向偏壓下的勢全電容C(F)及由反向偏壓增量V(V)引起的勢壘電容增量C（F).根據公式(1)和公式(2)可計算出勢壘擴展深度（X)和其相應的載流子濃度N（X）N（X）=ceoeA式中：

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