GB/T 17359-1998電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則

1C8.37.020N3中華人民共和國國家標準GB/T17359-1998電子探針和掃描電鏡×射線能譜定量分析通則GeneralspecificationofX-rayEDSquantitativeanalysisforEPMAandSEM1998-05-08發(fā)布1998-12-01實施國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T17359-1998在電子探針和掃描電鏡微分析領(lǐng)域，義射線能譜分析技術(shù)在近十多年來有了飛速的發(fā)展，在金屬材料研究、礦物鑒定和分析、半導體材料、治金、地質(zhì)、石油勤探等部門都獲得了廣泛的應用。我國已有各種能譜儀500多臺，本標準規(guī)定了與電子探針和掃描電鏡聯(lián)用的X射線能譜儀的定量分析方法的技術(shù)要求和規(guī)范。本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并負責技術(shù)歸口。本標準由中國有色金屬工業(yè)總公司北京有色金屬研究總院、地礦部地質(zhì)科學研究院礦床地質(zhì)研究所、核工業(yè)部北京地質(zhì)研究院共同負責起草。本標準主要起草人：劉安生、周劍雄、張宜。

中華人民共和國國家標準電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則GB/T17359—1998GeneralspeeificationorX-rayEDSquantitativeanalysisforEPMAandSEM范圍本標準規(guī)定了與電子探針和掃描電鏡聯(lián)用的義射線能譜儀的定量分析方法的技術(shù)要求和規(guī)范。本標準適用于電子探針和掃描電鏡X射線能譜儀對塊狀試樣的定量分析。2引用標準下列標準所包含的條文·通過在本標準中引用而構(gòu)成為本標準的條文。本標準出版時，所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性GB/T4930-93電子探針分析標準樣品通用技術(shù)條件GB/T15074一94電子探針定量分析方法通則3分析方法原理在電子探針和掃描電鏡等分析儀器中,應用一定能量并被聚焦的電子束轟擊樣品時，被轟擊區(qū)發(fā)射出樣品中所含元素的特征X射線,利用半導體探測器的能量色散特性，對接收的信號進行轉(zhuǎn)換、放大.再經(jīng)過線性放大器、脈沖處理器、多道分析器的進一步放大、處理和分析，可獲得各元素的特征X射線的能譜及其強度值，再通過與相應元素的標準樣品的X射線能譜的對比測定，以及修正計算處理，最終可以獲得被測樣品的化學組成的定量分析結(jié)果。時線能譜儀4.1X射線能譜儀的基本組成方框圖如下、、「線性放大與)、開算機多道分析器脈沖處理器深測器放大器統(tǒng)4.2X射線能譜儀的主要組成部分4.2.1X射線探測器：通常是Si(Li)半導體探測器，用于探測試樣發(fā)射的X射線，使能量不同的X射線轉(zhuǎn)換為電壓不同的電脈沖信號。4.2.2前置放大器：將來自探測器的信號作初級放大。4.2.3線性放大器和脈沖處理器：將經(jīng)過前置放大器初級放大的信號作進一步放大、并進行模擬或數(shù)字化處理。4.2.4多道分析器：將來自脈沖處理器的信號作進一步處理，完成對X射線譜的能量和強度的初步分4.2.5電子計算機系統(tǒng)：配