標準解讀

GB/T 26249-2010《電子工業用氣體 硒化氫》是一項國家標準，專門針對用于電子工業中的硒化氫氣體。該標準規定了電子工業用硒化氫的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和儲存等方面的要求。

技術要求部分明確了硒化氫氣體的純度級別及其雜質含量的最大允許值，確保其適用于特定的電子工業應用環境。對于不同等級的硒化氫，標準中設定了具體的指標，包括主成分含量、水分含量以及其他可能存在的微量雜質如氧、氮等的限量。

試驗方法章節詳細描述了如何通過化學分析或物理檢測手段來測定硒化氫的質量參數，比如使用氣相色譜法測定主要成分及某些特定雜質的濃度，采用露點儀測量水蒸氣含量等。這些測試程序旨在保證產品符合既定規格，并為用戶提供可靠的數據支持。

關于檢驗規則，標準定義了出廠前必須執行的一系列檢查項目，涵蓋外觀、壓力、密封性等多個方面，以確保每批次產品的安全性和一致性。此外，還指出了型式檢驗與常規檢驗的區別及其適用條件。

在包裝、標志、運輸和儲存環節，GB/T 26249-2010提出了具體指導原則，強調了正確處理此類危險化學品的重要性。例如，需使用專用容器盛裝，并在外包裝上清晰標注警示信息；運輸過程中要避免劇烈震動和高溫環境；存儲時則應遠離火源和其他易燃物質，保持良好通風條件。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2011-01-14 頒布
  • 2011-05-01 實施
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文檔簡介

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犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２６２４９—２０１０

電子工業用氣體硒化氫

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２０１１０１１４發布２０１１０５０１實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局

發布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２６２４９—２０１０

前言

本標準的附錄Ａ和附錄Ｂ為規范性附錄。附錄Ｃ為資料性附錄。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３／ＳＣ１）歸口。

本標準起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院、上海華愛色譜分析技術有限公司、河

北保定市北方特種氣體有限公司。

本標準主要起草人：周澤義、方華、莊鴻濤、李建浩、周鵬云、徐少兵。

Ⅰ

書

犌犅／犜２６２４９—２０１０

電子工業用氣體硒化氫

１范圍

本標準規定了硒化氫的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于硒鋁、硒鎂合金化合物水解、單質硒與氫高溫反應等方法獲得并經精制得到的硒化氫

產品。它主要用于太陽能電池、半導體和集成電路生產的外延、離子注入和摻雜。

分子式：Ｈ２Ｓｅ。

相對分子質量：８０．９７５８８（按２００７年國際相對原子質量計算）。

２規范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業用化學產品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質無縫氣瓶

ＧＢ／Ｔ５８３２．１氣體中濕度的測定第１部分：電解法

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ／Ｔ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規定

ＧＢ／Ｔ２６５７１特種氣體儲存期規范

《氣瓶安全監察規程》（國家質量監督檢驗檢疫總局發布，２０００年）

３技術要求

硒化氫的技術要求應符合表１的規定。

表１技術指標

項目指標

－２

硒化氫（Ｈ２Ｓｅ）純度（體積分數）／１０≥９９．９９

－６

氫（Ｈ２）含量（體積分數）／１０≤２０

－６

氧＋氬（Ｏ２＋Ａｒ）含量（體積分數）／１０≤１０

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數）／１０≤２０

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數）／１０－６≤１０

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分數）／１０≤１０

總烴（以甲烷計）含量（體積分數）／１０－６≤１０

－６

硫化氫（Ｈ２Ｓ）含量（體積分數）／１０

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