標準解讀
GB/T 32642-2016《平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測量方法》是一項國家標準,旨在規定平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測量方法。該標準適用于評估用于制造平板顯示器(如液晶顯示器、有機發光二極管顯示器等)的基板玻璃材料表面質量。
根據此標準,表面粗糙度定義為基板玻璃表面上微觀幾何形狀偏差的程度,通常用算術平均偏差Ra或均方根偏差Rq來表示。Ra值是指在取樣長度內,輪廓偏距絕對值的算術平均值;而Rq則是指這些偏距平方的平均值再開方的結果。
該標準詳細描述了使用觸針式輪廓儀進行表面粗糙度測量的具體步驟,包括但不限于:設備校準、樣品準備、參數設置以及數據采集和處理過程。其中特別強調了測試環境條件(溫度與濕度)、觸針選擇依據、掃描速度設定等方面的要求,以確保不同實驗室之間結果的一致性和可比性。
此外,還對如何報告測量結果進行了指導,指出應包含但不限于測量日期、所用儀器型號及編號、具體操作人員信息、環境溫濕度記錄、被測樣品的基本情況(尺寸、厚度等)、選取的評定參數及其數值等內容,以便于后續分析與對比研究。
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....
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文檔簡介
ICS31-030
L90
中華人民共和國國家標準
GB/T32642—2016
平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的
測量方法
Flatpaneldisplaysglasssubstratesurfaceroughnessmeasurementmethod
2016-04-25發布2016-11-01實施
中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布
中國國家標準化管理委員會
GB/T32642—2016
前言
本標準按照給出的規則起草
GB/T1.1—2009。
請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任
。。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國工業玻璃和特種玻璃標
(SAC/TC203)
準化技術委員會共同歸口
(SAC/TC447)。
本標準主要起草單位彩虹集團公司中國電子技術標準化研究院
:、。
本標準主要起草人黃寧歌王香裴會川李霜楊萬來張春鵬
:、、、、、。
Ⅰ
GB/T32642—2016
平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的
測量方法
1范圍
本標準規定了使用觸針式表面粗糙度測量儀測量平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測量方法
。
本標準適用于平板顯示器用基板玻璃表面粗糙度的測量
。
2術語和定義
下列術語和定義適用于本文件
。
21
.
觸針式表面粗糙度測量儀stylussurfaceroughnessmeasuringinstrument
探針在被測面的一部分上沿輪廓滑行放大地記錄下表面的不平整性并指明放大曲線的振幅是表
,
面粗糙度數值范圍的儀器
。
22
.
截止長波長longwavelengthcut-off
λ
L
排除自然因素當示蹤輪廓曲線通過消除波紋因素影響的高通波長濾波器后振幅衰減率成為
,,
時的波長
75%。
23
.
真實剖面曲線圖realprofile
目標物體表面與垂直于該表面的一個平面的交叉線參見圖
(1)。
圖1剖面曲線
24
.
截止短波長shortwavelengthcut-off
λ
S
示蹤剖面曲線通過濾除粗糙度因素影響的低通波長濾波器后其波幅衰減率成為標準值時的
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