真空技術 術語-編制說明

一、工作簡況

1任務來源

本項目是根據國標委標準制修訂計劃（國標委發(fā)[2021]年41號文），計劃編號20214700-T-604，項目名

稱“真空技術術語”進行修訂。主要起草單位：東北大學，計劃應完成時間2023年。

2主要工作過程

起草（草案、論證）階段：2021年3月，東北大學即組織專家研究ISO3529-1：2019《Vacuumtechnology

－Vocabulary－Part1:Generalterms》、ISO3529-2：2020《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part2:Vacuum

pumpsandrelatedterms》和ISO3529-3：2014《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part3:Totalandpartial

pressurevacuumgauges》的相關內容，分別于2021年6月23日-25日于浙江杭州，以及2021年9月25日

于甘肅省天水市，召開工作組會議，商討標準中術語和定義的細節(jié)總是。2022年1月10日，東北大學、臺

州職業(yè)技術學院收到國標委批復文件后，隨即著手成立項目起草工作組，開始逐一翻譯文稿，因術語標準涉

及面廣，與當前真空產品發(fā)展情況以及大專院校的教學內容關聯緊密，又要貼合業(yè)內使用習慣，因此工作組

在真空技術行業(yè)以及大專院校內開展了廣泛的調研分析，并與GB/T3163-2007的內容相比較，結合當前的

行業(yè)需求，確立了草案框架，逐步完善草案內容，形成標準征求意見稿，經組長審核后，于2022年7月25

日報至秘書處。

征求意見階段：經標委會秘書處同意，2022年7月29日由工作組牽頭負責通過網站宣傳、雜志登載、

文稿郵寄等方式公開征求意見，向行業(yè)有關單位、科研院所、大專院校及有代表性的標準利益方發(fā)函征求意

見。

3主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

本標準由東北大學、臺州職業(yè)技術學院、沈陽真空技術研究所有限公司等單位共同起草。

二、標準編制原則和主要內容

1.標準編制原則

本標準的制定符合產業(yè)發(fā)展的原則，本著先進性、科學性、合理性和可操作性的原則，以及標準的目

標性、統(tǒng)一性、協調性、適用性、一致性和規(guī)范性原則來進行本標準的制定工作，且與技術創(chuàng)新、試驗驗證、

產業(yè)推進、應用推廣相結合，統(tǒng)籌推進。

本標準起草過程中，主要參照GB/T1.1-2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草

規(guī)則》和GB/T1.2-2020《標準化工作導則第2部分：以ISO/IEC標準化文件為基礎的標準化文件起草規(guī)

則》的要求進行編寫。在標準轉化過程中，綜合考慮真空技術行業(yè)的發(fā)展狀況，技術水平，力求確立真空技

術領域的概念體系，并領域內的交流、合作以及教學使用。

本標準為修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，修訂GB/T3163-2007，

轉化ISO3529(所有部分）時，術語和定義的內容完全一致。GB/T3163-2007制定之初，因參照德國真空技

術標準，在標準中納入了多項真空技術應用領域的術語和定義，例如：真空系統(tǒng)、真空檢漏、真空鍍膜、表

面分析技術等，因此沒有將該標準按分部分采標，而是整合轉化為一項國家標準。因此，此次ISO3529（所

有部分）做了修訂，國內因而亦申請修訂GB/T3163-2007時，也繼續(xù)沿用此標準號，沒有分部分申請立項。

但由于當前真空技術應用領域的飛速發(fā)展，GB/T3163-2007中所含有的術語和定義已無法滿足當前的需求，

在一些相關領域的國行標中，依據應用領域的技術要求也對這些術語做了重復定義。因此，本次修訂過程中，

不再納入真空技術應用領域的術語，僅保留真空計校準相關內容，與全壓和分壓真空計內容配合使用。

2標準主要內容

本標準修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，標準名稱修改為《真空技

術術語》，重新編制了范圍一章，主要內容與ISO3529（所有部分）完全一致，在此基礎上增加了真空計

校準的相關術語和定義。界定了真空技術領域基礎通用、真空泵及其相關、全壓和分壓真空計方面的術語和

定義，確立了真空技術領域的概念體系。

標準中姨真空區(qū)域做了重新劃分，修訂了“真空”、“真空壓力”、“容積真空泵”、”滑閥真空泵“、”低溫泵

“、”干式真空泵“、“體積流率”、“流量”、“臨界前級壓力”、“極限壓力”、“基礎壓力”、“壓縮比”、真空計的

“測量范圍”等術語和定義。納入了當前已得到普及應用的諸如“超清潔真空”、“隔膜真空泵”、“螺桿真空泵”、

“爪式真空泵”、“非蒸散吸氣劑真空泵”、“復合渦輪分子真空泵”、“機械增壓真空泵”、“電離計靈敏度”、

“Bourdon真空計”、“薄膜真空計”、“電容薄膜真空計”、“磁懸浮轉子真空計”、“皮拉尼真空計”、“熱電偶真

空計”、“離子能量分析真空計”、“離子阱質譜儀”等最新的術語和定義。刪除了諸如“標準環(huán)境條件”、“標準

環(huán)境狀態(tài)”、“氣鎮(zhèn)泵”、“體積碰撞率”、“氣體量”、“吸氣劑離子泵”、“電離計系數”、“冷陰極電離計”等內容。

重新構建了真空鍍膜術語的結構框架。

3主要技術差異

本文件代替GB/T3163-2007《真空技術術語》，與GB/T3163-2007相比，除結構調整和編輯性改動外，

主要技術變化如下：

——更改了文件的范圍，刪除了真空技術應用領域的術語和定義涵蓋范圍（見第1章，2007年版的2.1）

——刪除了“標準環(huán)境條件”（見2007年版的2.1）；

——刪除了“標準氣體狀態(tài)”（見2007年版的2.2）；

——更改了“真空區(qū)域”的劃分范圍（見3.1.1.2，2007年版的2.2）；

——增加了“超清潔真空”的術語和定義（見3.1.1.3）；

——更改了“壓力”的定義（見3.1.1.4，2007年版的2.5）；

——刪除了“帕斯卡”（見2007年版的2.6）；

——刪除了“分壓力”中的符號和單位（見3.1.1.5，2007年版的2.7）；

——更改了“飽和蒸氣”的定義（見3.1.2.6，2007年版的2.15）；

——增加了“體積速度”的術語和定義（見3.1.2.10）；

——增加了“氣體溫度”的術語和定義（見3.1.2.11）；

——更改了“氣體量（壓力-體積單位）”的定義（見3.1.2.12，2007年版的2.23）；

——更改了“平均自由程”的定義（見3.1.3.1，2007年版的2.20）；

——更改了“克努曾數”的定義（見3.1.3.2，2007年版的2.31）；

——增加了“稀疏參數”的術語和定義（見3.1.3.3）；

——更改了“碰撞率”的定義（見3.1.3.4，2007年版的2.21）；

——刪除了“體積碰撞率”（見2007年版的2.22）；

——刪除了“氣體量”（見2007年版的2.23）；

——更改了“氣體的擴散”的定義（見3.1.3.5，2007年版的2.24）；

——更改了“黏滯流”的定義（見3.1.3.7，2007年版的2.26）；

——更改了“伯謖葉流”的定義（見3.1.3.9，2007年版的2.28）；

——增加了“滑移流”的術語和定義（見3.1.3.12）；

——更改了“流量”的定義（見3.1.3.18，2007年版的2.37）；

——更改了“麥克斯韋速度分布”的定義（見3.1.3.22，2007年版的2.41）；

——更改了“固有流導”的定義（見3.1.3.26，2007年版的2.45）；

——增加了“動量適應系數”的術語和定義（見3.1.4.7）；

——更改了“解吸”的定義（見3.1.4.14，2007年版的2.59）；

——更改了“滲透”的定義（見3.1.4.19，2007年版的2.64）；

——更改了“滲透率”的定義（見3.1.4.20，2007年版的2.65）；

——更改了“真空泵”的定義（見3.2.1.1，2007年版的3.1.1）；

——增加了“氣體傳輸真空泵”的術語和定義（見3.2.1.2）；

——更改了“容積真空泵”的術語和定義（見3.2.1.3，2007年版的3.1.2）；

——刪除了“氣鎮(zhèn)（真空）泵”（見2007年版的3.1.2.1.1）；

——刪除了“油封（液封）真空泵”（見2007年版的的3.1.2.1.2）；

——刪除了“干式真空泵”（見2007年版的3.1.2.1.3）；

——增加了“隔膜真空泵”的術語和定義（見3.2.1.4）；

——增加了“線性蠕動真空泵”的術語和定義（見3.2.1.6）；

——增加了“渦旋真空泵”的術語和定義（見3.2.1.7）；

——更改了“旋片真空泵”的術語和定義（見3.2.1.8，2007年版的3.1.2.4.1）；

——更改了“液環(huán)真空泵”的定義（見3.2.1.9，2007年版的3.1.2.3）；

——增加了“外置葉片真空泵”的術語和定義（見3.2.1.10）；

——更改了“定片真空泵”的定義（見3.2.1.11，2007年版的3.1.2.4.2）；

——刪除了“滑閥真空泵”（見2007年版的3.1.2.4.3）；

——更改了“余擺線泵”的定義（見3.2.1.12，2007年版的3.1.2.6）；

——增加了“蠕動真空泵”的術語和定義（見3.2.1.13）；

——更改了“羅茨真空泵”的定義（見3.2.1.14，2007年版的3.1.2.5）；

——增加了“蠕動真空泵”的術語和定義（見3.2.1.13）；

——增加了“螺桿真空泵”的術語和定義（見3.2.1.15）；

——增加了“爪式真空泵”的術語和定義（見3.2.1.16）；

——更改了“動量真空泵”的定義（見3.2.1.17，2007年版的3.1.3）；

——更改了“渦輪真空泵”的定義（見3.2.1.18，2007年版的3.1.3.1）；

——增加了“再生式真空泵”的術語和定義（見3.2.1.19）；

——增加了“復合渦輪分子真空泵”的術語和定義（見3.2.1.22）；

——增加了“氣體收集真空泵”的術語和定義（見3.2.1.32）；

——更改了“氣體捕集真空泵”的術語和定義（見3.2.1.33，2007年版的3.1.4）；

——增加了“非蒸散吸氣劑真空泵”的術語和定義（見3.2.1.36）；

——刪除了“吸氣劑離子泵”（見2007年版的3.1.4.4）；

——刪除了“升華（蒸發(fā)）離子泵”（見2007年版的3.1.4.4.1）；

——增加了“標準二極型離子真空泵”的術語和定義（見3.2.1.39）；

——增加了“二極型離子真空泵”的術語和定義（見3.2.1.40）；

——增加了“三極型離子真空泵”的術語和定義（見3.2.1.41）；

——更改了“低溫真空泵”的術語和定義（見3.2.1.42，2007年版的3.1.4.5）；

——增加了“冷凝器”的術語和定義（見3.2.1.43）；

——增加了“表面冷凝器”的術語和定義（見3.2.1.44）；

——增加了“噴霧冷凝器”的術語和定義（見3.2.1.45）；

——增加了“表面凝結（結霜）”的術語和定義（見3.2.1.46）；

——更改了“葉片”的定義（見3.2.2.4，2007年版的3.2.4）；

——更改了“氣鎮(zhèn)閥”的定義（見3.2.2.9，2007年版的3.2.6）；

——更改了“擴壓器”的定義（見3.2.2.16，2007年版的3.2.13）；

——增加了“干式真空泵”的術語和定義（見3.2.4.1）；

——更改了“高真空泵”的定義（見3.2.4.6，2007年版的3.4.5）；

——增加了“機械增壓真空泵”的術語和定義（見3.2.4.7.1）；

——增加了“噴射增壓真空泵”的術語和定義（見3.2.4.7.2）；

——刪除了“附屬真空泵”（見2007年版的3.4.7）；

——更改了“體積流率”的定義（見3.2.5.1，2007年版的3.5.1）；

——更改了“真空泵的流量”的定義（見3.2.5.2，2007年版的3.5.2）；

——更改了“前級壓力”的定義（見3.2.5.4，2007年版的3.5.4）；

——更改了“臨界前級壓力”的定義（見3.2.5.5，2007年版的3.5.5）；

——更改了“最大工作壓力”的定義（見3.2.5.7，2007年版的3.5.7）；

——更改了“極限壓力”的定義（見3.2.5.8，2007年版的3.5.8）；

——增加了“基礎壓力”的術語和定義（見3.2.5.9）；

——增加了“入口壓力”的術語和定義（見3.2.5.10）；

——更改了“壓縮比”的定義（見3.2.5.11，2007年版的3.5.9）；

——更改了“加熱時間”的術語和定義（見3.2.5.19，2007年版的3.5.18）；

——更改了“冷卻時間”的術語和定義（見3.2.5.20，2007年版的3.5.19）；

——增加了“最大連續(xù)抽氣量”的術語和定義（見3.2.5.21）；

——更改了“裸規(guī)”的定義（見3.3.1.2.1.1，2007年版的4.1.2.1.1）；

——更改了“全壓真空計”的定義（見3.3.2.3，2007年版的4.2.3）；

——更改了“分壓真空計”的定義（見3.3.2.4，2007年版的4.2.4）；

——更改了“分壓真空計”的術語和定義（見3.3.3.1，2007年版的4.3.1）；

——刪除了“電離計系數（壓力單位倒數）”（見2007年版的4.3.4）；

——增加了“電離計靈敏度”的術語和定義（見3.3.3.4）；

——更改了“液位壓力計”的定義（見3.3.4.1.1，2007年版的4.4.1.1）；

——增加了“布爾登壓力計”的術語和定義（見3.3.4.1.2.1）；

——增加了“薄膜真空計”的術語和定義（見3.3.4.1.2.2）；

——增加了“電容薄膜真空計”的術語和定義（見3.3.4.1.2.3）；

——更改了“黏滯真空計”的定義（見3.3.4.2.1，2007年版的4.4.2.1）；

——增加了“磁懸浮轉子真空計”的術語和定義（見3.3.4.2.1.1）；

——增加了“石英摩擦真空計”的術語和定義（見3.3.4.2.1.2）；

——增加了“熱電偶真空計”的術語和定義（見3.3.4.2.2.1）；

——增加了“皮拉尼真空計”的術語和定義（見3.3.4.2.2.2）；

——增加了“熱敏電阻表”的術語和定義（見3.3.4.2.2.3）；

——更改了“電離真空計”的定義（見3.3.4.3.1，2007年版的4.4.3.1）；

——增加了“交叉場電離真空計”的術語和定義（見3.3.4.3.2）；

——刪除了“放射性電離計”（見2007年版的4.4.3.2）；

——刪除了“冷陰極電離計”（見2007年版的4.4.3.3）；

——更改了“潘寧計”的定義（見3.3.4.3.2.1，2007年版的4.4.3.3.1）；

——更改了“磁控管真空計”的術語和定義（見3.3.4.3.2.2，2007年版的4.4.3.3.2）；

——增加了“翻轉磁控管真空計”（見3.3.4.3.2.3）；

——增加了“發(fā)射陰極電離真空計”（見3.3.4.3.3）；

——刪除了“放電管指示器”（見2007年版的4.4.3.3.3）；

——增加了“離子能量分析真空計”（見3.3.4.3.3.8）；

——刪除了“雙金屬線振蕩器真空計”（見2007年版的4.4.3.4.9）；

——增加了“離子阱質譜儀”（見3.3.5.2.4）；

——更改了“飛行時間質譜儀”的定義（見3.3.5.4.1，2007年版的4.5.4.1）；

——增加了“反射質譜儀”（見3.3.5.4.1.1）；

——增加了“Wiley-Mclaren質譜儀”（見3.3.5.4.1.2）；

——刪除了“真空系統(tǒng)及有關術語”（見2007年版的第5章）；

——刪除了“檢漏及有關術語”（見2007年版的第6章）；

——刪除了“真空鍍膜技術”（見2007年版的第7章）；

——刪除了“真空干燥和冷凍干燥”（見2007年版的第8章）；

——刪除了“表面分析技術”（見2007年版的第9章）；

——刪除了“真空冶金”（見2007年版的第10章）；

——更改了“符號和縮略語”（見第4章，2007年版的附錄B）；

——刪除了附錄“在采用國際單位制（SI制）之前使用的壓力單位和換算系數”（見2007年版的附錄A）；

——更改了真空泵分類表（見附錄A，2007年版的附錄C）；

——增加了全壓真空計樹形圖（見附錄B）；

——更改了與ISO3529結構編號對照一覽表（見附錄C，2007年版的D）；

——刪除了中文索引（見2007年版的中文索引）；

——刪除了英文索引（見2007年版的英文索引）。

4解決的主要問題

本標準為修訂項目，原標準GB/T3163-2007修改采用的國際標準ISO3529(所有部分）：1981均已完

成修訂，自1981年距今的40年間，真空技術發(fā)展迅猛，因此原有的術語內容已無法滿足現有技術應用的需

求，如：新增加的“超清潔真空”、“復合渦輪分子泵”等術語，都是以往術語體系中不存在的內容，對真空

區(qū)域也重新做了劃分。同時，原有的術語也被賦予了新的概念，或是定義發(fā)生了變化，這使得國內術語在應

用中暫時無法實現統(tǒng)一，國內外在對術語的理解上也存在著差異，極大地影響了學術界的交流，技術領域的

溝通學習，以及應用領域的兼容性。其次，GB/T3163-2007中存在一些定義不規(guī)范、表述錯誤、術語層次

劃分不清晰的錯誤，均需得到修改。因此本標準的修訂可有效解決標齡老化問題，標準的時效性。同時性能

參數、新型產品、前沿技術的最新術語和定義，亦可指導生產制造，提高產品技術性能，可更好地滿足市場

和使用需要，亦有助于在真空技術、真空設備、真空科研等相關領域，與國外開展對標達標，對提升我國真

空技術水平具有十分重要的作用。

三、主要試驗（或驗證）情況

本標準是術語標準，沒有進行試驗或驗證分析。

四、標準中涉及專利的情況

本標準不涉及專利問題。

五、預期達到的社會效益、對產業(yè)發(fā)展的作用等情況

術語標準作為整個真空行業(yè)以及真空技術應用領域科研生產、教學研發(fā)等相關活動的基礎標準，對開展

國際合作、對外貿易和交流有著重要且深遠的影響。尤其是近些年，在真空獲得、真空測量、真空應用等方

面發(fā)展出許多新興技術，在航空航天、高能物理、新興能源、化工制藥、半導體等領域也誕生了許多新型應

用，原有的概念體系無法滿足當前技術發(fā)展的需求。

本標準為修訂項目。通過修訂，充分納入和反映了當今新產品、新技術、新工藝和新參數的先進技術成

果，保證了標準的時效性，為當前真空技術的發(fā)展、應用、研究和教學提供技術支撐，建立全新的概念體系，

且與國際真空技術概念體系保持一致發(fā)展。該標準做為真空技術行業(yè)的基礎性標準，亦為今后真空技術標準

的發(fā)展規(guī)定了基本準則。對引導和規(guī)范真空技術及相關應用領域的發(fā)展，提升標準的先進性、合理性和適用

性起到了關鍵性的支撐作用。

六、與國際、國外對比情況

本標準修改采用ISO3529-12020、ISO3529-22019、ISO3529-32014。

本標準的技術內容與國際標準完全一致，在此基礎上增加了真空計校準內容。

本標準修訂過程中未測試國外樣品、樣機。

本標準水平為國際先進水平。

七、在標準體系中的位置，與現行相關法律、法規(guī)、規(guī)章及相關標準，特別是強制性標準

的協調性

本專業(yè)領域的標準體系框架如圖（見附件）。

本標準屬于真空技術標準體系“01真空技術”大類。

本標準與現行相關法律、法規(guī)、規(guī)章及相關標準協調一致。

八、重大分歧意見的處理經過和依據

無。

九、標準性質的建議說明

建議本標準的性質為推薦性國家標準。

十、貫徹標準的要求和措施建議

建議本標準批準發(fā)布即實施。

十一、廢止現行相關標準的建議

無。

十二、其他應予說明的事項

無。

一、工作簡況

1任務來源

本項目是根據國標委標準制修訂計劃（國標委發(fā)[2021]年41號文），計劃編號20214700-T-604，項目名

稱“真空技術術語”進行修訂。主要起草單位：東北大學，計劃應完成時間2023年。

2主要工作過程

起草（草案、論證）階段：2021年3月，東北大學即組織專家研究ISO3529-1：2019《Vacuumtechnology

－Vocabulary－Part1:Generalterms》、ISO3529-2：2020《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part2:Vacuum

pumpsandrelatedterms》和ISO3529-3：2014《Vacuumtechnology－Vocabulary－Part3:Totalandpartial

pressurevacuumgauges》的相關內容，分別于2021年6月23日-25日于浙江杭州，以及2021年9月25日

于甘肅省天水市，召開工作組會議，商討標準中術語和定義的細節(jié)總是。2022年1月10日，東北大學、臺

州職業(yè)技術學院收到國標委批復文件后，隨即著手成立項目起草工作組，開始逐一翻譯文稿，因術語標準涉

及面廣，與當前真空產品發(fā)展情況以及大專院校的教學內容關聯緊密，又要貼合業(yè)內使用習慣，因此工作組

在真空技術行業(yè)以及大專院校內開展了廣泛的調研分析，并與GB/T3163-2007的內容相比較，結合當前的

行業(yè)需求，確立了草案框架，逐步完善草案內容，形成標準征求意見稿，經組長審核后，于2022年7月25

日報至秘書處。

征求意見階段：經標委會秘書處同意，2022年7月29日由工作組牽頭負責通過網站宣傳、雜志登載、

文稿郵寄等方式公開征求意見，向行業(yè)有關單位、科研院所、大專院校及有代表性的標準利益方發(fā)函征求意

見。

3主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

本標準由東北大學、臺州職業(yè)技術學院、沈陽真空技術研究所有限公司等單位共同起草。

二、標準編制原則和主要內容

1.標準編制原則

本標準的制定符合產業(yè)發(fā)展的原則，本著先進性、科學性、合理性和可操作性的原則，以及標準的目

標性、統(tǒng)一性、協調性、適用性、一致性和規(guī)范性原則來進行本標準的制定工作，且與技術創(chuàng)新、試驗驗證、

產業(yè)推進、應用推廣相結合，統(tǒng)籌推進。

本標準起草過程中，主要參照GB/T1.1-2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草

規(guī)則》和GB/T1.2-2020《標準化工作導則第2部分：以ISO/IEC標準化文件為基礎的標準化文件起草規(guī)

則》的要求進行編寫。在標準轉化過程中，綜合考慮真空技術行業(yè)的發(fā)展狀況，技術水平，力求確立真空技

術領域的概念體系，并領域內的交流、合作以及教學使用。

本標準為修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，修訂GB/T3163-2007，

轉化ISO3529(所有部分）時，術語和定義的內容完全一致。GB/T3163-2007制定之初，因參照德國真空技

術標準，在標準中納入了多項真空技術應用領域的術語和定義，例如：真空系統(tǒng)、真空檢漏、真空鍍膜、表

面分析技術等，因此沒有將該標準按分部分采標，而是整合轉化為一項國家標準。因此，此次ISO3529（所

有部分）做了修訂，國內因而亦申請修訂GB/T3163-2007時，也繼續(xù)沿用此標準號，沒有分部分申請立項。

但由于當前真空技術應用領域的飛速發(fā)展，GB/T3163-2007中所含有的術語和定義已無法滿足當前的需求，

在一些相關領域的國行標中，依據應用領域的技術要求也對這些術語做了重復定義。因此，本次修訂過程中，

不再納入真空技術應用領域的術語，僅保留真空計校準相關內容，與全壓和分壓真空計內容配合使用。

2標準主要內容

本標準修改采用ISO3529-1：2019、ISO3529-2：2020和ISO3529-3：2014，標準名稱修改為《真空技

術術語》，重新編制了范圍一章，主要內容與ISO3529（所有部分）完全一致，在此基礎上增加了真空計

校準的相關術語和定義。界定了真空技術領域基礎通用、真空泵及其相關、全壓和分壓真空計方面的術語和

定義，確立了真空技術領域的概念體系。

標準中姨真空區(qū)域做了重新劃分，修訂了“真空”、“真空壓力”、“容積真空泵”、”滑閥真空泵“、”低溫泵

“、”干式真空泵“、“體積流率”、“流量”、“臨界前級壓力”、“極限壓力”、“基礎壓力”、“壓縮比”、真空計的

“測量范圍”等術語和定義。納入了當前已得到普及應用的諸如“超清潔真空”、“隔膜真空泵”、“螺桿真空泵”、

“爪式真空泵”、“非蒸散吸氣劑真空泵”、“復合渦輪分子真空泵”、“機械增壓真空泵”、“電離計靈敏度”、

“Bourdon真空計”、“薄膜真空計”、“電容薄膜真空計”、“磁懸浮轉子真空計”、“皮拉尼真空計”、“熱電偶真

空計”、“離子能量分析真空計”、“離子阱質譜儀”等最新的術語和定義。刪除了諸如“標準環(huán)境條件”、“標準

環(huán)境狀態(tài)”、“氣鎮(zhèn)泵”、“體積碰撞率”、“氣體量”、“吸氣劑離子泵”、“電離計系數”、“冷陰極電離計”等內容。

重新構建了真空鍍膜術語的結構框架。

3主要技術差異

本文件代替GB/T3163-2007《真空技術術語》，與GB/T3163-2007相比，除結構調整和編輯性改動外，

主要技術變化如下：

——更改了文件的范圍，刪除了真空技術應用領域的術語和定義涵蓋范圍（見第1章，2007年版的2.1）

——刪除了“標準環(huán)境條件”（見2007年版的2.1）；

——刪除了“標準氣體狀態(tài)”（見2007年版的2.2）；

——更改了“真空區(qū)域”的劃分范圍（見3.1.1.2，2007年版的2.2）；

——增加了“超清潔真空”的術語和定義（見3.1.1.3）；

——更改了“壓力”的定義（見3.1.1.4，2007年版的2.5）；

——刪除了“帕斯卡”（見2007年版的2.6）；

——刪除了“分壓力”中的符號和單位（見3.1.1.5，2007年版的2.7）；

——更改了“飽和蒸氣”的定義（見3.1.2.6，2007年版的2.15）；

——增加了“體積速度”的術語和定義（見3.1.2.10）；

——增加了“氣體溫度”的術語和定義（見3.1.2.11）；

——更改了“氣體量（壓力-體積單位）”的定義（見3.1.2.12，2007年版的2.23）；

——更改了“平均自由程”的定義（見3.1.3.1，2007年版的2.20）；

——更改了“克努曾數”的定義（見3.1.3.2，2007年版的2.31）；

——增加了“稀疏參數”的術語和定義（見3.1.3.3）；

——更改了“碰撞率”的定義（見3.1.3.4，2007年版的2.21）；

——刪除了“體積碰撞率”（見2007年版的2.22）；

——刪除了“氣體量”（見2007年版的2.23）；

——更改了“氣體的擴散”的定義（見3.1.3.5，2007年版的2.24）；

——更改了“黏滯流”的定義（見3.1.3.7，2007年版的2.26）；

——更改了“伯謖葉流”的定義（見3.1.3.9，2007年版的2.28）；

——增加了“滑移流”的術語和定義（見3.1.3.12）；

——更改了“流量”的定義（見3.1.3.18，2007年版的2.37）；

——更改了“麥克斯韋速度分布”的定義（見3.1.3.22，2007年版的2.41）；

——更改了“固有流導”的定義（見3.1.3.26，2007年版的2.45）；

——增加了“動量適應系數”的術語和定義（見3.1.4.7）；

——更改了“解吸”的定義（見3.1.4.14，2007年版的2.59）；

——更改了“滲透”的定義（見3.1.4.19，2007年版的2.64）；

——更改了“滲透率”的定義（見3.1.4.20，2007年版的2.65）；

——更改了“真空泵”的定義（見3.2.1.1，2007年版的3.1.1）；

——增加了“氣體傳輸真空泵”的術語和定義（見3.2.1.2）；

——更改了“容積真空泵”的術語和定義（見3.2.1.3，2007年版的3.1.2）；

——刪除了“氣鎮(zhèn)（真空）泵”（見2007年版的3.1.2.1.1）；

——刪除了“油封（液封）真空泵”（見2007年版的的3.1.2.1.2）；

——刪除了“干式真空泵”（見2007年版的3.1.2.1.3）；

——增加了“