標準解讀

《T/CEMIA 030-2022 半導體用正膠顯影液》標準針對半導體制造過程中使用的正膠顯影液進行了詳細規定。該文件首先明確了適用范圍，適用于半導體行業中作為光刻工藝一部分的正性光刻膠去除溶劑。接下來，標準定義了術語和定義部分，為后續內容提供了基礎理解框架。

在技術要求章節中，《T/CEMIA 030-2022》列出了正膠顯影液需要滿足的各項性能指標，包括但不限于純度、pH值、粘度等物理化學性質的要求。這些具體參數確保了顯影過程能夠達到預期效果，并且不會對后續工序造成負面影響。此外，還特別強調了產品穩定性以及與不同材料兼容性的考量。

試驗方法部分描述了如何通過一系列測試來驗證上述技術要求是否得到滿足。這包括樣品準備、實驗條件設定、操作步驟及結果分析等內容。通過標準化的檢測流程，可以客觀準確地評估正膠顯影液的質量水平。

最后，在包裝、標志、運輸和貯存方面也給出了明確指導。例如，對于包裝材料的選擇、標簽信息的標注、運輸過程中的注意事項以及存儲環境的要求都做了詳細說明，以保證產品從生產到使用整個鏈條的安全性和有效性。


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  • 正在執行有效
  • 2022-04-20 頒布
  • 2022-07-20 實施
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文檔簡介

ICS31030

CCSL.90

團體標準

T/CEMIA030—2022

半導體用正膠顯影液

Positivephotoresistdeveloperforsemiconductormanufacture

2022-04-20發布2022-07-20實施

中國電子材料行業協會發布

T/CEMIA030—2022

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國電子材料行業協會提出并歸口

。

本文件主要起草單位杭州格林達電子材料股份有限公司

:。

本文件參與起草單位北方集成電路技術創新中心北京有限公司無錫三開高純化工有限公司

:()、、

滄州信聯化工有限公司晶瑞湖北微電子材料有限公司

、()。

本文件主要起草人邢攸美李瀟逸張之鈞趙健胡濤李盈盈陳東良顧峻徐文干孫煒劉新雨

:、、、、、、、、、、、

王琪周利超李林佳余紅剛倪蕓嵐陳海剛楊小平章帥迪劉永南姚藝融劉為波翁雪平傅華

、、、、、、、、、、、、、

高小云

。

Ⅰ

T/CEMIA030—2022

半導體用正膠顯影液

1范圍

本文件規定了半導體用正膠顯影液的分類和標記要求檢驗方法檢驗規則以及標志包裝運輸

、、、、、、

貯存和安全

。

本文件適用于半導體用正膠顯影液其主要組分為通過季銨鹽化合物電解制得的四甲基氫氧化銨

,。

四甲基氫氧化銨的基本信息見附錄中的

AA.1。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標志

GB190

化學試劑標準滴定溶液的制備

GB/T601

化學試劑雜質測定用標準溶液的制備

GB/T602

化學試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備

GB/T603

液體化學產品顏色測定法單位鉑鈷色號

GB/T3143(Hazen———-)

液體化工產品采樣通則

GB/T6680

數值修約規則與極限數值的表示和判定

GB/T8170

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979、

電子級水

GB/T11446.1

化學品安全標簽編寫規定

GB15258

常用化學危險品貯存通則

GB15603

化學試劑離子色譜法測定通則

GB/T34672

薄膜晶體管液晶顯示器用四甲基氫氧化銨顯影液

GB/T37403—2019(TFT-LCD)

潔凈廠房設計規范

GB50073—2013

電子工業用顯影液中甲醇的測定頂空氣相色譜法

SJ/T11634

電子工業用顯影液中碳酸根離子的測定自動電位滴定法

SJ/T11635

電子工業用顯影液中四甲基氫氧化銨的測定自動電位滴定法

SJ/T11636

電子化學品中顆粒的測試方法

SJ/T11638

3術語

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