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熱膨脹系數(shù)重要意義：引起面形變化，影響成像質(zhì)量（石英玻璃500nm/m.℃）影響成像質(zhì)量降低分辨率3.2光學(xué)石英玻璃的熱膨脹系數(shù)第三章：光學(xué)石英玻璃關(guān)鍵性能探索
3.2低膨脹石英玻璃第三章：光學(xué)石英玻璃關(guān)鍵性能探索OR+4OOO摻雜石英玻璃固相摻雜技術(shù)液相摻雜技術(shù)1974年中國(guó)建材總院顧真安院士帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)采用臥式CVD工藝，成功研制低膨脹石英玻璃材料，并制定相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)（JC227-1981QSD低膨脹石英玻璃管、JC-T679玻璃平均線性熱膨脹系數(shù)試驗(yàn)方法）2014年，我院率先采用立式氣相摻雜工藝，開(kāi)展低膨脹石英玻璃塊體材料研究立式CVD摻雜沉積工藝圖臥式CVD摻雜沉積工藝圖3.2光學(xué)石英玻璃的發(fā)展歷史第三章：光學(xué)石英玻璃關(guān)鍵性能探索化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）：通過(guò)氣化器將一定含量的SiCl4和TiCl4液體氣化后通過(guò)燃燒器噴射到1600-1700℃氫氧焰中，形成SiO2-TiO2沉積顆粒，顆粒在旋轉(zhuǎn)的沉積基底上熔融玻璃化，最終制得低膨脹石英玻璃。
FurnaceBurnerSiCl4+TiCl4O2H2Ingot3.2.2低膨脹石英玻璃制備原理第三章：光學(xué)石英玻璃關(guān)鍵性能探索性能參數(shù)高純石英玻璃超低膨脹微晶玻璃低膨脹石英玻璃膨脹系數(shù)5.7×10-7/℃（1±5）×10-8/℃（1±5）×10-8/℃密度2.19g/cm32.53g/cm32.21g/cm3可焊接性一般不可焊接良好單體鏡坯米級(jí)以上米級(jí)以上米級(jí)以上組分SiO2以Li2O、Al2O3、SiO2為主要成分SiO2+TiO2主要應(yīng)用透鏡、光掩膜基板等地面精密光學(xué)系統(tǒng)反射鏡極紫外光刻、空間反射鏡等3.2.2低膨脹石英玻璃特點(diǎn)第三章：光學(xué)石英玻璃關(guān)鍵性能探索6名稱反射鏡外形尺寸(mm)加工數(shù)量加工后面形主鏡Ф456×8910.0137λ次鏡Ф135×2810.012λ三鏡380×117×6410.015λ平面鏡80×4810.012λ3.2.2
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