GBT-氧化銦錫蒸發料編制說明

國家標準《氧化銦錫蒸發料》編制說明（審定稿）先導電子科技股份有限公司2026年6月

國家標準《氧化銦錫蒸發料》編制說明（審定稿）一、工作簡況1.1任務來源本項目批準文號為國標委發〔2022〕6號，項目計劃編號為20255678-T-610，項目名稱為國家標準《氧化銦錫蒸發料》，項目完成年限為2026年12月前。標準制完成單位為先導電子科技股份有限公司，參與完成單位為：成都中建材光電科技有限公司、安徽光智科技有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、云南錫銦實驗室有限公司、福建阿石創新材料股份有限公司、蕪湖映日科技股份有限公司、昆明理工大學、廣西晶聯光電材料有限責任公司、廣東先導稀材股份有限公司等。本項目由全國有色金屬標準化技術委員會歸口管理。1.2立項目的和意義氧化銦錫（即IndiumTinOxide，簡稱ITO）蒸發料是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫氣氛燒結形成的黃色陶瓷材料，氧化銦錫蒸發料最主要的應用是在LED燈等照明設備中，氧化銦錫可以作為電極材料，具有良好的導電性能和穩定性能；LED燈有多種顏色，是因為光的波長決定光的顏色，波長取決于形成PN結的化合物材料，在形成PN結時需要在外延P型取設置一層透明導電層，以提高LED芯片的電流擴展和光的萃取率等性能。氧化銦錫薄膜材料具有低電阻率、高可見光透過率、高的機械硬度、良好的化學穩定性和對基片附著力強等優點，而被廣泛用于形成LED芯片中的透明導電層(即ITO透明導電層)。氧化銦錫蒸發料的氧化銦和氧化錫按照不同的比例形成了不同的產品類型，現在市場主要的質量比類型為83/17、90/10、95/5三種類型。產品的外形為小圓錠類型，氧化銦錫蒸發料的組分、雜質、外觀質量、相對密度等指標對最終產品質量有著決定性影響。國家標準化管理委員會發布的《2021年國家標準立項指南》第（二）章節強調：加強“碳達峰”標準化支撐力度，加快新能源開發利用、電力儲能、需求側等的管理，推進能源互聯網標準化工作，推進光伏能源新型光電材料等標準體系的建設，而氧化銦錫蒸發料就是極具前景的LED芯片的核心基礎材料。隨著全球信息技術的迭代快速發展和材料工藝的日益完善，特別是隨著我國的生產水平的發展和社會的科技進步及全社會物質條件的極大完善，全球LED市場已成為一個非常巨大并且涉及面廣的產業，全球LED產業總產值已達萬億元以上，而且可以預見的是隨著廣大的發展中國家的發展和消費能力的提高，LED產業也將持續擴大，作為高端LED芯片的核心材料之一的氧化銦錫蒸發料的應用也將加速發展，產業規模預計在2035年后增加100%以上。2010年以前氧化銦錫蒸發料市場幾乎由日、韓、美壟斷局面，到2015年之后就已改變為中國主導全面主導市場的局面，隨著我國的科技進步及產業的發展，我國的氧化銦錫蒸發料產量已占全球70%以上，產品覆蓋高中低端全范圍，為進一步鞏固和提高我國氧化銦錫蒸發料的生產和研發能力，順應我國日新月異的科技進步能力，制定可以反映行業最新要求和狀況的氧化銦錫蒸發料國家標準已是勢在必行，制定氧化銦錫蒸發料國家標準有重要意義。1.3主要參加單位和工作成員所作的工作1.3.1主要參加單位簡介先導電子科技股份有限公司：先導電子科技股份有限公司是先導科技集團下屬子公司，致力于研發、生產、銷售和回收真空鍍膜用濺射靶材和蒸發材料。產品系列包括高純金屬、合金、貴金屬及陶瓷材料所制成的靶材、錠、顆粒及粉末，被廣泛應用于顯示、光伏、半導體、精密光學、數據存儲及玻璃等領域。先導電科現有員工近千人，在廣東清遠、安徽合肥、江蘇徐州、山東淄博、韓國、新加坡分別建有多個研發制造基地，在全球多個國家和地區設有銷售辦公室，先導電科目前已成為國內具備相當規模和影響力的靶材供應商之一，產品質量穩定，受到國內外客戶廣泛認可，在國際市場也極具競爭力。先導電子科技股份有限公司是國家高新技術企業，是國家工程技術中心的所在單位，公司有多項產品如硒化鋅紅外激光材料和鏡片、半導體砷化鎵、氧化銦錫蒸發料、碲鋅鎘靶材、碲鋅鎘晶體窗口材料等均是填補了國家戰略新型材料空白的產品。先導電科擁有一支專業的國際化研發和應用技術支持團隊，我們的研發團隊與客戶共同合作，提升現有產品性能，開發適用于未來先進技術的新產品。我們的應用技術團隊協助客戶解決產品應用問題，提升應用性能。公司擁有大型生產設備500余臺，員工3000余人，其中專業技術人員600多名，配有等離子體發射光譜儀、等離子質譜儀、輝光放電質譜儀、電子掃描電鏡、原子吸收光譜儀、測氧儀、粒度儀、差熱儀、X衍射儀、X熒光儀、紅外光譜儀、高效氣相質譜儀、液相質譜儀、離子色譜儀等先進的檢測儀器，可進行多種化學元素的分析檢測，公司的產品檢測能力在國內外處于領先水平。公司先后通過了ISO9001質量管理體系認證，并建立了ISO14001環境管理體系，OHSASl8001職業健康管理體系。成都中建材光電材料有限公司：成都中建材光電材料有限公司位于雙流區西航港經濟開發區空港二路558號，成立于2009年12月16日，注冊資本2.337億元，系中國建材集團控股的國家級高新技術企業。公司致力于碲化鎘弱光發電玻璃的研發與產業化，高純金屬半導體材料的生產與銷售以及BIPV光伏系統的設計、安裝和運營。公司是國內較早開展高純金屬材料研發、生產的企業，目前擁有年產100噸高純碲、40噸高純銻、80噸高純鋅、60噸高純硒的生產線，5—7N碲榮獲了四川省高技術創新產品、獲得四川省科技進步一等獎，建有兩個四川省工程技術中心，2013年研發團隊入選四川省頂尖創新團隊。安徽光智科技有限公司安徽光智科技有限公司，成立于2018年12月，注冊資金9億元人民幣，是上市公司光智科技[300489]的控股公司，位于安徽省滁州市瑯琊區，占地面積110畝。主要從事紅外光學材料及元器件、激光材料和元器件、探測器芯片及元器件、晶體材料、光電探測和醫療探測元器件等產品研制、生產、技術服務和銷售。廣泛應用于紅外熱成像、激光雷達、輸助駕駛、航空器、邊防安防、工業加工等領域。其中紅外、激光材料主要包括鍺、硒化鋅、硫化鋅、硫化鎘、硫系玻璃、硅、紅外級砷化鎵、LYSO晶體、YAG晶體、CZT晶體和BGO晶體，各類產品均可按客戶要求定制。公司具備鏡頭、紅外傳感器、輻射探測器、激光器等產品的全產業生產技術，涉及生物醫療、車載、安防監控、人工智能等諸多領域，公司擁有MPCVD金剛石制備的完整技術。中山智隆新材料科技有限公司：中山智隆新材料科技有限公司成立于2019年，是從事半導體顯示靶材與半導體金屬靶材研、產、銷一體的中外合資高新技術企業，由廣州智沐科技有限公司與韓國LT金屬株式會社共同投資、中方控股的創新型科技企業。云南錫銦實驗室有限公司：云南錫銦實驗室有限公司成立于2024年，是云錫集團（控股）有限責任公司為主籌建，國內唯一專門從事錫、銦全產業鏈多學科綜合性研究開發的省級實驗室，前身是云南錫業集團研究院有限公司。云南錫銦實驗室依托云錫控股公司完整的錫采選、冶煉、加工、化工制造，銦采選和冶煉、研發全產業鏈所具有的豐富的原材料、行業經驗，擁有的先進技術水平和深厚的技術研發能力和專業水平，公司技術力量雄厚、質量保證體系齊全、檢測設備和儀器齊全。福建阿石創新材料股份有限公司:福建阿石創新材料股份有限公司（股票代碼300706）成立于2002年，是專業從事PVD鍍膜材料研發生產的國家高新技術企業，是工信部專精特新“小巨人”企業、福建省制造業單項冠軍企業（產品）、中國光電行業“社會突出貢獻企業”。集團公司建設有“高效太陽電池裝備與技術國家工程研究中心”“國家博士后科研工作站”“福建省企業技術中心”“福建省鍍膜靶材企業工程技術研究中心”“福建省院士工作站”等科研平臺，公司自主研發了超過200款各類高端靶材，產品廣泛應用于新型顯示面板、集成電路、光學光通信、新能源等領域，多款高端濺射靶材先后榮獲“國家技術發明二等獎”“中國有色金屬工業科技一等獎”“福建省科技進步一等獎”“中國新型顯示產業鏈發展貢獻獎”等獎項，實現了關鍵技術突破，有力推動了關鍵上游材料的國產化替代。蕪湖映日科技有限公司蕪湖映日科技股份有限公司成立于2015年8月，坐落于蕪湖經濟技術開發區，注冊資本8940.03萬元，是一家專業從事高性能濺射靶材的研發、生產及銷售的高新技術企業，也是“國家級專精特新小巨人企業”、安徽省優秀“專精特新”企業。公司生產的高性能濺射靶材作為電子設備制造行業的重要基礎材料之一，主要應用于顯示面板、半導體、太陽能電池、記錄媒體等制造領域，并廣泛應用于消費電子、智能家電、通信照明、光伏、計算機、工業控制、汽車電子等多個下游應用領域。目前，公司產品主要應用于顯示面板制造，并已開始進入太陽能光伏電池及半導體領域(LED芯片)，公司產品種類覆蓋陶瓷靶材、金屬靶材、非金屬靶材及合金靶材，形成了產品種類多樣化、產品應用多元化的發展格局。昆明理工大學：創建于1954年，坐落于云南省昆明市，已發展成為一所以工為主，理工結合，行業特色、區域特色鮮明，經濟、管理、哲、法、文、藝術、醫、農、教育等多學科協調發展的綜合性大學，是云南省規模最大、辦學層次和類別較為齊全的省屬重點大學。廣西晶聯光電材料有限責任公司廣西晶聯光電材料有限責任公司成立于2007年9月，是高新技術企業、國家專精特新小巨人企業、自治區創新示范企業，主要開發、生產及銷售銦基陶瓷靶材。企業“TFT顯示面板用高性能ITO靶材制備關鍵技術及國產化”項目榮獲2020年廣西科技進步一等獎，2020中國新型顯示產業鏈特殊貢獻獎，主要參與制定行業標準5項，獲得發明專利16項，廣西優秀新產品2個。0廣東先導稀材股份有限公司：先導科技集團始創于2003年，在全球稀散金屬行業處于世界領先地位，硒、碲系列產品銷量世界第一；旗下擁有40家子公司，遍布全球10個國家，16個城市，集團總部位于廣東清遠，全球在職員工3000多名，是國家認定高新技術企業、擁有國家稀散金屬工程技術研究中心、國家認定企業技術中心、博士后科研工作站，設有獨立的先進材料研究院。先導科技集團始創于2003年，在全球稀散金屬行業處于世界領先地位，硒、碲系列產品銷量世界第一；旗下擁有40家子公司，遍布全球10個國家，16個城市，集團總部位于廣東清遠，全球在職員工3000多名，是國家認定高新技術企業、擁有國家稀散金屬工程技術研究中心、國家認定企業技術中心、博士后科研工作站，設有獨立的先進材料研究院。1.3.2工作單位和工作成員所作的工作工作單位的工作先導電子科技股份有限公司在接到標準立項通知后，牽頭隨即成立了《氧化銦錫蒸發料》國家標準編制組，并對標準編制工作組成員進行了職責分工。根據各起草單位的實際情況和要求，確定了起草單位和參與起草單位，各家單位所做的工作任務如下表1。表1起草單位和驗證單位的工作任務序號單位名稱工作任務1先導電子科技股份有限公司主起草單位，負責標準相關資料的收集整理、標準文本及編制說明的編寫，標準討論預審及審定會議的解答和意見建議落實。2成都中建材光電材料有限公司第一參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，參加標準的討論、預審及審定工作。3安徽光智科技有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，組織標準的討論、預審及審定工作，指導標準文本及編制說明的編寫修改工作。4中山智隆新材料科技有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，參加標準的討論、預審及審定工作。5云南錫銦實驗室有限公司參與起草單位，提出該單位的相關生產經驗和建議，對標準相關的原材料提供相關建議。6福建阿石創新材料股份有限公司參與起草單位，對標準的文本及結構提供相關建議，對引用標準提出意見和建議7蕪湖映日科技股份有限公司參與起草單位，對標準的文本及結構提供相關建議，對引用標準提出意見和建議8昆明理工大學參與起草單位，對標準的文本及結構提供相關建議，對引用標準提出意見和建議9廣西晶聯光電材料有限責任公司參與起草單位，對標準的文本及結構提供相關建議，對引用標準提出意見和建議9廣東先導稀材股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，組織標準的討論、預審及審定工作，指導標準文本及編制說明的編寫修改工作。各起草人在本文件編制過程中的所做的工作見表3所示表2主要起草人及工作職責序號姓名單位工作分工1余芳先導電子科技股份有限公司負責氧化銦錫靶材標準修訂的方案制定，主持標準與生產的溝通協調，組織主持標準的編寫和審核等。2鄧育寧先導電子科技股份有限公司負責氧化銦錫靶材標準修訂工作中的技術要求的制定和審核，對標準的代表性和準確性進行把握和指導。3向清華廣東先導稀材股份有限公司負責氧化銦錫靶材標準修訂的方案制定、產品情況調研、資料搜集、數據采集與匯總、主持標準條款編寫和審核等。4鄭林成都中建材光電材料有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，提供相關產品質量數據，參加標準的討論、預審及審定工作。參加標準工作。5葛春橋中山智隆新材料科技有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議。參加標準的討論、預審及審定工作。6梁華鑫云南錫銦實驗室有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，提供相關產品質量數據，參加標準的討論、預審及審定工作。7陳欽忠福建阿石創新材料股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，提供相關產品質量數據，參加標準的討論、預審及審定工作。8曾墩風蕪湖映日科技股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，提供相關產品質量數據，參加標準的討論、預審及審定工作。9歐琳芳安徽光智科技有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，參加標準工作。10蔣文龍云南錫銦實驗室有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，參加標準工作。11胡智向先導電子科技股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，提供相關產品質量數據，參加標準的討論、預審及審定工作。12利鎮升先導電子科技股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，提供相關產品質量數據，參加標準的討論、預審及審定工作。13覃士敏成都中建材光電材料有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，提供相關產品質量數據，參加標準的討論、預審及審定工作。14陳露中山智隆新材料科技有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，提供相關產品質量數據，參加標準的討論、預審及審定工作。15張科福建阿石創新材料股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，參加標準的討論、預審及審定工作，對標準的技術要求及內容提出意見。16伍美珍云南錫銦實驗室有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，參加標準的討論、預審及審定工作。17徐寶強云南錫銦實驗室有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，參加標準工作。18朱贊芳廣東先導稀材股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，參加標準工作會議。19張金華廣東先導稀材股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議，。210吳杰廣東先導稀材股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議。211楊靜安徽光智科技有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議。212王志強蕪湖映日科技股份有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議。213李一夫云南錫銦實驗室有限公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議。114黃誓成廣西晶聯光電材料有限責任公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議。115劉建雄廣西晶聯光電材料有限責任公司參與起草單位，對標準各項技術指標的提出相關意見和建議。1.4主要工作過程1.4.1預研階段2024年1月，先導電子科技股份有限公司根據公司的生產實際和市場情況，決定向國家相關部門提出制定《氧化銦錫蒸發料》國家標準，隨即開始國內外氧化銦錫蒸發料市場情況、生產情況及使用情況進行了詳細的調研，了解了國內外氧化銦錫蒸發料生產的技術水平、應用情況及相關的研發拓展情況及未來相關的趨勢，與行業內的相關人員深入討論標準制定工作的技術要求、試驗要求、建議要求等各環節的標準的具體技術要求，通過整理歸納相關企業的制造水平、產品規格、檢測手段、應用要求等，同時也考慮了國外能夠涉及和收集到的各類情況，由主編單位整理并編制形成了《氧化銦錫蒸發料》標準項目建議書、標準草案及標準立項說明等材料。根據此次調研情況，由主編單位整理并完善形成標準草案稿。1.4.2標準立項2024年3月中國有色金屬標準化委員會年中年會在長沙召開，先導電子科技股份有限公司在會上提交了制定申請報告，會上針對當前國內氧化銦錫蒸發料生產經營使用的實際情況，廣泛征求參會人員的意見，會上經討論后同意向國標委提交申報，經過公示后同意決定由先導電子科技股份有限公司制定《氧化銦錫蒸發料》標準，并向國標委提報制定申請。在2025年9月，國標委批準了由先導電子科技股份有限公司起草制定國家標準《氧化銦錫蒸發料》，并確認了成都中建材光電科技有限公司、安徽光智科技有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、云南馳宏鋅鍺股份有限公司、廣東先導稀材股份有限公司、福建阿石創新材料股份有限公司等參與制定。完成時間節點按照以下安排進行：2025年9月—2025年10月：完成調研工作，形成討論稿；2025年12月前召開了第一次工作會議；2026年6月前召開第二次工作會議，2026年10月前召開標準審查會議。1.4.3起草階段本標準為制定標準，先導電子科技股份有限公司在起草階段進行了大量的數據收集，同時結合國內氧化銦錫蒸發料的生產廠家的生產現狀及技術水平及用戶的實際要求，進行了以下工作：1）2025年10月，成立標準編制組，初步制定了工作計劃和進度安排，明確了各參與單位的工作職能和任務。由此形成了標準草案，2025年12月在洛陽召開了標準討論的第一次工作會議，對標準的征求意見1稿進行了廣泛充分的討論，參加會議的單位有16家，參與人員50多人，會議討論熱烈。2）起草單位根據洛陽會議并結合實際情況形成征求意見2稿，于2026年5月在昆明市召開了標準預審的第二次工作中、會議，會議為相關心理標準的專題會議，會議時間充分，會議參與人員和專家學者較多，提出的相關意見較為客觀和反應實際情況。在此基礎上最終形成征求意見稿。1.4.4征求意見階段本標準以召開專題會議、發送標準郵件、標委會網站上公開掛網、微信、電話等多種形式和辦法進行了廣泛的征求意見，2025年10月，根據各生產企業、用戶、相關行業的專家意見等的相關資料進行歸納和總結，確認了標準內主要的技術要求如牌號、物理性能、規格、外觀質量、內部質量、分析方法等制定要求的具體內容形成了《氧化銦錫蒸發料》的討論稿，并進行了相關廣泛的征求意見工作。在征求意見過程中，征求意見發放到位總共15家，其中非委員單位總數及其中的用戶、科研、其他單位所占80%、收到的意見數量有12條，均對相關意見做了處理。在開展公平競爭審查過程中，經對照，沒有發現限制或者變相限制市場準入和退出，沒有限制商品要素的自由流動、不影響生產經營成本以及生產經營行為。同時填寫《公平競爭審查表》編制組根據意見，對標準進行修改和完善，形成了標準《送審稿》及《編制說明》。1.4.5審查階段技術專家審查委員審查委員電子投票【國標寫，其他不寫】1.4.6報批階段二、編制原則、主要內容及其確定依據1、編制原則1.1按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草，有色金屬標準化技術委員會針對最新版的標準起草要求做了深入的培訓，按照培訓要求及編寫實例、示例編寫本標準。1.2本次制定應重點關注和解決在生產和經營使用實際情況中的技術要求、試驗方法、檢驗要求，準確體現和反映行業現狀和要求及發展要求，對氧化銦錫蒸發料生產、貿易、使用企業的方方面面的各項工作要求起到指導作用。1.3《氧化銦錫蒸發料》制定標準的要求和內容，要統一考慮國際、國內兩個市場的供需情況，標準的制定盡量采用國際國外先進標準，與國際接軌，制定出的標準既可以給行業提供執行和規范要求并且執行和使用清晰明了，也可以讓行業之外的其他部門了解行業狀況。2、標準主要技術內容的確定依據2.1產品質量統計情況氧化銦錫蒸發料是化合物陶瓷材料，主要應用于用于LED芯片和光學玻璃制造，隨著我國經濟發展和科技進步，我國已成為全球主要的氧化銦錫蒸發料的生產國家，產品質量已居于全球領先水平，標準技術內容的制定需要據于各生產企業的實際情況以真實反映行業現狀，下表是起草單位及參與起草單位的若干批氧化銦錫蒸發料的技術指標的統計。表3先導公司的氧化銦錫蒸發料的技術統計1IC-ITO83SnO2含量、相對密度、厚度和直徑數據統計表序號批次SnO2%相對密度厚度/mm直徑/mm1IC-ITO83-0117.1857.50%4.517.802IC-ITO83-0216.1159.00%4.507.793IC-ITO83-0318.1660.50%4.467.814IC-ITO83-0416.2958.00%4.517.815IC-ITO83-0518.1959.50%4.477.796IC-ITO83-0617.2360.50%4.497.807IC-ITO83-0716.3761.00%4.457.798IC-ITO83-0816.1160.50%4.477.809IC-ITO83-0917.4162.00%4.517.8110IC-ITO83-1018.1259.00%4.457.8011IC-ITO83-1117.2559.50%4.517.8012IC-ITO83-1217.3960.50%4.507.8213IC-ITO83-1317.2561.00%4.487.7914IC-ITO83-1418.0260.50%4.507.8015IC-ITO83-1517.1957.00%4.517.8016IC-ITO83-1617.2357.50%4.507.8017IC-ITO83-1715.9459.00%4.477.8018IC-ITO83-1817.0160.50%4.517.8019IC-ITO83-1916.8258.00%4.507.8120IC-ITO83-2017.2960.50%4.487.8021IC-ITO83-2117.2160.00%4.477.8022IC-ITO83-2217.0359.00%4.507.8023IC-ITO83-2317.2859.50%4.457.8024IC-ITO83-2416.9960.50%4.517.8025IC-ITO83-2517.1558.50%4.477.7926IC-ITO83-2616.6858.00%4.487.8127IC-ITO83-2717.2159.00%4.507.7928IC-ITO83-2817.3157.50%4.517.8129IC-ITO83-2916.8256.00%4.507.8230IC-ITO83-3017.8256.50%4.517.83表4先導公司的氧化銦錫蒸發料的技術統計2IC-ITO83雜質成分含量數據統計表（ppm)序號批次FeAlSiSbPbCdNiCrTl1IC-ITO83-0112858<3<1<1<1<12IC-ITO83-0211667<3<1<1<1<13IC-ITO83-0314947<3<1<1<1<14IC-ITO83-04101088<3<1<1<1<15IC-ITO83-056848<3<1<11<16IC-ITO83-06121348<3<1<11<17IC-ITO83-0710933<3<1<11<18IC-ITO83-0812666<3<1<11<19IC-ITO83-0913555<3<1<11<110IC-ITO83-108384<3<1<11<111IC-ITO83-11121095<3<1<1<1<112IC-ITO83-125637<3<1<11<113IC-ITO83-1312534<3<1<11<114IC-ITO83-1411468<3<1<1<1<115IC-ITO83-1561256<3<1<11<116IC-ITO83-1613775<3<1<11<117IC-ITO83-177964<3<1<11<118IC-ITO83-1813834<3<1<1<1<119IC-ITO83-1911646<3<1<1<1<120IC-ITO83-208544<3<1<11<121IC-ITO83-2114434<3<1<11<122IC-ITO83-2213356<3<1<11<123IC-ITO83-239536<3<1<1<1<124IC-ITO83-2410455<3<1<11<125IC-ITO83-2512644<3<1<11<126IC-ITO83-2671044<3<1<11<127IC-ITO83-2713866<3<1<11<128IC-ITO83-2813635<3<1<11<129IC-ITO83-296743<3<1<1<1<130IC-ITO83-3012334<3<1<1<1<1表5先導公司的氧化銦錫蒸發料的技術統計3IC-ITO83外觀檢測數據統計表序號批次外觀干凈無粉塵、無色差無異物無刮痕孔洞/坑點＜0.3x0.3mm，每顆≤5個崩角＜0.5mm，每顆≤5個無裂紋1IC-ITO83-01OK無無00無2IC-ITO83-02OK無無00無3IC-ITO83-03OK無無00無4IC-ITO83-04OK無無11無5IC-ITO83-05OK無無00無6IC-ITO83-06OK無無00無7IC-ITO83-07OK無無00無8IC-ITO83-08OK無無00無9IC-ITO83-09OK無無00無10IC-ITO83-10OK無無11無11IC-ITO83-11OK無無00無12IC-ITO83-12OK無無00無13IC-ITO83-13OK無無00無14IC-ITO83-14OK無無00無15IC-ITO83-15OK無無20無16IC-ITO83-16OK無無00無17IC-ITO83-17OK無無01無18IC-ITO83-18OK無無00無19IC-ITO83-19OK無無00無20IC-ITO83-20OK無無00無21IC-ITO83-21OK無無20無22IC-ITO83-22OK無無00無23IC-ITO83-23OK無無00無24IC-ITO83-24OK無無00無25IC-ITO83-25OK無無00無26IC-ITO83-26OK無無10無27IC-ITO83-27OK無無00無28IC-ITO83-28OK無無00無29IC-ITO83-29OK無無00無30IC-ITO83-30OK無無00無表6先導公司的氧化銦錫蒸發料的技術統計4IC-ITO90SnO2含量、相對密度、厚度和直徑數據統計表序號批次SnO2%相對密度厚度/mm直徑/mm1IC-ITO90-0110.0759.00%40.2030.052IC-ITO90-029.8857.50%40.3530.023IC-ITO90-039.9459.00%39.8630.014IC-ITO90-049.7560.50%39.7830.045IC-ITO90-0510.2558.00%40.0430.036IC-ITO90-0610.1660.50%40.1030.047IC-ITO90-0710.3060.00%40.1630.028IC-ITO90-089.8659.00%39.9830.069IC-ITO90-099.9259.50%40.2630.0410IC-ITO90-1010.1060.50%40.4030.0711IC-ITO90-119.9658.50%40.3230.0112IC-ITO90-129.8058.00%39.8830.1013IC-ITO90-139.9161.00%40.2630.0514IC-ITO90-1410.1060.50%40.1830.0415IC-ITO90-1510.0457.00%40.0530.0616IC-ITO90-169.9557.50%39.9730.0817IC-ITO90-1710.2659.00%40.2430.0118IC-ITO90-1810.1860.50%40.3730.0519IC-ITO90-199.9358.00%39.7930.0220IC-ITO90-2010.1060.50%39.8430.0621IC-ITO90-2110.0860.00%40.1030.0422IC-ITO90-2210.3559.00%40.1530.0423IC-ITO90-2310.0757.50%40.1230.0624IC-ITO90-249.7659.00%40.0430.0825IC-ITO90-259.9460.50%39.9830.0126IC-ITO90-269.9158.00%39.9430.0527IC-ITO90-2710.2060.50%40.1430.0628IC-ITO90-2810.1260.00%40.0830.0229IC-ITO90-2910.0259.00%40.1030.0630IC-ITO90-3010.1459.50%40.3530.04表7先導公司的氧化銦錫蒸發料的技術統計5IC-ITO90雜質成分含量數據統計表（ppm)序號批次FeAlSiSbPbCdNiCrTl1IC-ITO90-0112855<3<1<1<1<12IC-ITO90-0210665<3<1<1<1<13IC-ITO90-0312954<3<1<1<1<14IC-ITO90-045883<3<1<1<1<15IC-ITO90-058643<3<1<11<16IC-ITO90-066545<3<1<11<17IC-ITO90-075432<3<1<11<18IC-ITO90-0812365<3<1<11<19IC-ITO90-0911554<3<1<11<110IC-ITO90-108383<3<1<11<111IC-ITO90-1112594<3<1<1<1<112IC-ITO90-125638<3<1<11<113IC-ITO90-1312536<3<1<11<114IC-ITO90-144465<3<1<1<1<115IC-ITO90-1512454<3<1<11<116IC-ITO90-167773<3<1<1<1<117IC-ITO90-179966<3<1<1<1<118IC-ITO90-188935<3<1<11<119IC-ITO90-196847<3<1<11<120IC-ITO90-205676<3<1<11<121IC-ITO90-214545<3<1<11<122IC-ITO90-223434<3<1<11<123IC-ITO90-236363<3<1<1<1<124IC-ITO90-2410456<3<1<11<125IC-ITO90-258684<3<1<11<126IC-ITO90-266695<3<1<11<127IC-ITO90-2711534<3<1<11<128IC-ITO90-2813463<3<1<11<129IC-ITO90-296743<3<1<1<1<130IC-ITO90-308334<3<1<1<1<1表8先導公司的氧化銦錫蒸發料的技術統計6IC-ITO90外觀檢測數據統計表序號批次外觀干凈無粉塵、無色差無異物無刮痕孔洞/坑點＜0.3x0.3mm，每顆≤5個崩角＜0.5mm，每顆≤5個無裂紋1IC-ITO90-01OK無無00無2IC-ITO90-02OK無無01無3IC-ITO90-03OK無無10無4IC-ITO90-04OK無無00無5IC-ITO90-05OK無無00無6IC-ITO90-06OK無無00無7IC-ITO90-07OK無無00無8IC-ITO90-08OK無無00無9IC-ITO90-09OK無無02無10IC-ITO90-10OK無無00無11IC-ITO90-11OK無無00無12IC-ITO90-12OK無無00無13IC-ITO90-13OK無無30無14IC-ITO90-14OK無無00無15IC-ITO90-15OK無無00無16IC-ITO90-16OK無無00無17IC-ITO90-17OK無無00無18IC-ITO90-18OK無無00無19IC-ITO90-19OK無無20無20IC-ITO90-20OK無無01無21IC-ITO90-21OK無無10無22IC-ITO90-22OK無無00無23IC-ITO90-23OK無無00無24IC-ITO90-24OK無無10無25IC-ITO90-25OK無無01無26IC-ITO90-26OK無無00無27IC-ITO90-27OK無無00無28IC-ITO90-28OK無無00無29IC-ITO90-29OK無無00無30IC-ITO90-30OK無無00無表9先導公司的氧化銦錫蒸發料的技術統計7IC-ITO95SnO2含量、相對密度、厚度和直徑數據統計表序號批次SnO2%相對密度厚度/mm直徑/mm1IC-ITO95-015.1757.50%20.1220.062IC-ITO95-025.1958.00%20.2520.043IC-ITO95-034.9557.50%20.1620.034IC-ITO95-045.2358.00%20.1420.055IC-ITO95-055.1956.50%20.1620.036IC-ITO95-065.0658.50%20.0920.067IC-ITO95-075.0458.00%20.1120.028IC-ITO95-085.2057.70%20.120.099IC-ITO95-095.0756.90%20.0220.0810IC-ITO95-105.1557.30%20.0720.1011IC-ITO95-114.9758.00%20.1120.0312IC-ITO95-125.1856.50%20.1520.0113IC-ITO95-135.1758.50%20.0920.0614IC-ITO95-145.1558.00%20.1620.0515IC-ITO95-155.1457.70%20.1920.1116IC-ITO95-165.1056.90%20.1620.0117IC-ITO95-175.1457.30%19.9520.0818IC-ITO95-185.2258.00%20.1520.0419IC-ITO95-195.1358.00%20.1320.0920IC-ITO95-205.0257.50%20.0920.0321IC-ITO95-215.2356.40%19.8520.0422IC-ITO95-225.2659.00%20.1120.0223IC-ITO95-234.9559.50%20.1520.0824IC-ITO95-245.2059.00%19.9620.0225IC-ITO95-255.2458.50%20.0120.1026IC-ITO95-264.8958.00%20.0420.0327IC-ITO95-275.2359.00%19.9620.0228IC-ITO95-285.1557.50%20.0120.0329IC-ITO95-295.2056.00%20.0420.0130IC-ITO95-305.0556.50%19.9820.08表10先導公司的氧化銦錫蒸發料的技術統計8IC-ITO95雜質成分含量數據統計表（ppm)序號批次FeAlSiSbPbCdNiCrTl1IC-ITO95-016985<3<1<11<12IC-ITO95-026876<3<1<11<13IC-ITO95-0374107<3<1<11<14IC-ITO95-046356<3<1<11<15IC-ITO95-056664<3<1<12<16IC-ITO95-0679105<3<1<11<17IC-ITO95-0761086<3<1<11<18IC-ITO95-0861096<3<1<11<19IC-ITO95-0971186<3<1<11<110IC-ITO95-109845<3<1<11<111IC-ITO95-117834<3<1<11<112IC-ITO95-127865<3<1<11<113IC-ITO95-1391096<3<1<11<114IC-ITO95-1410647<3<1<12<115IC-ITO95-156487<3<1<12<116IC-ITO95-1661086<3<1<12<117IC-ITO95-176756<3<1<12<118IC-ITO95-186874<3<1<12<119IC-ITO95-196584<3<1<12<120IC-ITO95-207454<3<1<12<121IC-ITO95-215534<3<1<12<122IC-ITO95-225595<3<1<12<123IC-ITO95-237494<3<1<12<124IC-ITO95-245974<3<1<12<125IC-ITO95-255963<3<1<12<126IC-ITO95-266764<3<1<12<127IC-ITO95-277574<3<1<12<128IC-ITO95-286634<3<1<12<129IC-ITO95-296745<3<1<12<130IC-ITO95-3010334<3<1<12<1表11先導公司的氧化銦錫蒸發料的技術統計9IC-ITO95外觀檢測數據統計表序號批次外觀干凈無粉塵、無色差無異物無刮痕孔洞/坑點＜0.3x0.3mm，每顆≤5個崩角＜0.5mm，每顆≤5個無裂紋1IC-ITO95-01OK無無00無2IC-ITO95-02OK無無00無3IC-ITO95-03OK無無10無4IC-ITO95-04OK無無00無5IC-ITO95-05OK無無00無6IC-ITO95-06OK無無00無7IC-ITO95-07OK無無00無8IC-ITO95-08OK無無00無9IC-ITO95-09OK無無00無10IC-ITO95-10OK無無00無11IC-ITO95-11OK無無00無12IC-ITO95-12OK無無00無13IC-ITO95-13OK無無10無14IC-ITO95-14OK無無00無15IC-ITO95-15OK無無00無16IC-ITO95-16OK無無01無17IC-ITO95-17OK無無00無18IC-ITO95-18OK無無00無19IC-ITO95-19OK無無00無20IC-ITO95-20OK無無00無21IC-ITO95-21OK無無00無22IC-ITO95-22OK無無00無23IC-ITO95-23OK無無10無24IC-ITO95-24OK無無01無25IC-ITO95-25OK無無00無26IC-ITO95-26OK無無00無27IC-ITO95-27OK無無00無28IC-ITO95-28OK無無10無29IC-ITO95-29OK無無00無30IC-ITO95-30OK無無00無表12公司2的氧化銦錫蒸發料的技術統計1IC-ITO90SnO2含量、相對密度、高度和直徑數據統計表序號批次SnO2%相對密度高度/mm直徑/mm1IC-ITO90-0110.00%60.82%39.9529.822IC-ITO90-029.87%59.02%39.9330.193IC-ITO90-0310.02%59.26%40.0730.194IC-ITO90-049.84%60.76%39.8330.185IC-ITO90-059.91%58.59%40.0829.876IC-ITO90-0610.02%59.15%40.0930.047IC-ITO90-0710.08%60.16%39.9730.148IC-ITO90-0810.19%58.52%40.0329.969IC-ITO90-099.83%58.98%40.1130.0810IC-ITO90-109.95%60.52%40.0129.8811IC-ITO90-119.93%59.10%39.8329.9912IC-ITO90-1210.01%58.71%39.9430.1813IC-ITO90-1310.16%60.45%39.8730.0014IC-ITO90-1410.03%60.50%40.0429.9615IC-ITO90-1510.05%59.85%39.8829.8116IC-ITO90-169.91%61.35%40.0230.1217IC-ITO90-1710.17%61.01%39.8930.1018IC-ITO90-189.87%59.33%39.9129.8219IC-ITO90-199.86%60.57%39.9830.1120IC-ITO90-209.93%60.10%39.8630.15表13公司2的氧化銦錫蒸發料的技術統計2IC-ITO90雜質成分含量數據統計表（ppm）序號批次FeAlSiSbPdCdNiCrTl1IC-ITO90-0112457≤3＜1＜1＜1＜12IC-ITO90-025756≤3＜1＜1＜1＜13IC-ITO90-037855≤3＜1＜1＜1＜14IC-ITO90-047655≤3＜1＜1＜1＜15IC-ITO90-055524≤3＜1＜1＜1＜16IC-ITO90-0614853≤3＜1＜1＜1＜17IC-ITO90-0712433≤3＜1＜1＜1＜18IC-ITO90-088713≤3＜1＜1＜1＜19IC-ITO90-0914454≤3＜1＜1＜1＜110IC-ITO90-105533≤3＜1＜1＜1＜111IC-ITO90-119624≤3＜1＜1＜1＜112IC-ITO90-125816≤3＜1＜1＜1＜113IC-ITO90-138816≤3＜1＜1＜1＜114IC-ITO90-1413457≤3＜1＜1＜1＜115IC-ITO90-1513515≤3＜1＜1＜1＜116IC-ITO90-1611645≤3＜1＜1＜1＜117IC-ITO90-1710633≤3＜1＜1＜1＜118IC-ITO90-187726≤3＜1＜1＜1＜119IC-ITO90-1913713≤3＜1＜1＜1＜120IC-ITO90-206427≤3＜1＜1＜1＜1表14公司2的氧化銦錫蒸發料的技術統計3IC-ITO90外觀檢測數據統計表序號批次外觀干凈無

粉塵、無色差無異物無刮痕孔洞/坑點＜0.3*0.3mm

每顆≤5個崩角＜0.5mm

每顆≤5個無裂紋1IC-ITO90-01OK無無00無2IC-ITO90-02OK無無01無3IC-ITO90-03OK無無10無4IC-ITO90-04OK無無10無5IC-ITO90-05OK無無00無6IC-ITO90-06OK無無00無7IC-ITO90-07OK無無10無8IC-ITO90-08OK無無00無9IC-ITO90-09OK無無00無10IC-ITO90-10OK無無01無11IC-ITO90-11OK無無01無12IC-ITO90-12OK無無11無13IC-ITO90-13OK無無00無14IC-ITO90-14OK無無01無15IC-ITO90-15OK無無10無16IC-ITO90-16OK無無10無17IC-ITO90-17OK無無10無18IC-ITO90-18OK無無10無19IC-ITO90-19OK無無11無20IC-ITO90-20OK無無10無表15公司2的氧化銦錫蒸發料的技術統計4IC-ITO95SnO2含量、相對密度、高度和直徑數據統計表序號批次SnO2%相對密度高度/mm直徑/mm1IC-ITO95-015.15%57.09%9.888.182IC-ITO95-024.95%57.08%9.987.803IC-ITO95-034.91%57.04%9.937.804IC-ITO95-045.08%59.21%10.097.855IC-ITO95-055.12%56.67%9.878.046IC-ITO95-064.89%56.67%10.118.087IC-ITO95-074.88%58.47%10.047.838IC-ITO95-084.94%57.43%9.938.079IC-ITO95-095.07%59.17%10.098.0110IC-ITO95-105.15%56.93%10.158.1011IC-ITO95-114.84%59.45%9.967.8512IC-ITO95-125.12%56.62%10.138.0013IC-ITO95-135.01%56.72%10.178.0914IC-ITO95-144.80%57.66%9.878.1515IC-ITO95-155.11%56.86%10.038.0716IC-ITO95-165.16%56.73%10.157.8517IC-ITO95-175.06%57.63%10.088.0018IC-ITO95-185.18%58.00%10.148.1819IC-ITO95-195.18%57.87%9.967.8420IC-ITO95-204.95%57.70%10.157.80表16公司2的氧化銦錫蒸發料的技術統計5IC-ITO95雜質成分含量數據統計表（ppm）序號批次FeAlSiSbPdCdNiCrTl1IC-ITO95-016656≤3＜1＜1＜1＜12IC-ITO95-029725≤3＜1＜1＜1＜13IC-ITO95-035725≤3＜1＜1＜1＜14IC-ITO95-047556≤3＜1＜1＜1＜15IC-ITO95-0514447≤3＜1＜1＜1＜16IC-ITO95-0614526≤3＜1＜1＜1＜17IC-ITO95-0714755≤3＜1＜1＜1＜18IC-ITO95-0813845≤3＜1＜1＜1＜19IC-ITO95-099556≤3＜1＜1＜1＜110IC-ITO95-108747≤3＜1＜1＜1＜111IC-ITO95-119624≤3＜1＜1＜1＜112IC-ITO95-125646≤3＜1＜1＜1＜113IC-ITO95-136614≤3＜1＜1＜1＜114IC-ITO95-149746≤3＜1＜1＜1＜115IC-ITO95-158627≤3＜1＜1＜1＜116IC-ITO95-165856≤3＜1＜1＜1＜117IC-ITO95-179546≤3＜1＜1＜1＜118IC-ITO95-185816≤3＜1＜1＜1＜119IC-ITO95-195557≤3＜1＜1＜1＜120IC-ITO95-2014745≤3＜1＜1＜1＜1表17公司2的氧化銦錫蒸發料的技術統計6IC-ITO95外觀檢測數據統計表序號批次外觀干凈無

粉塵、無色差無異物無刮痕孔洞/坑點＜0.3*0.3mm

每顆≤5個崩角＜0.5mm

每顆≤5個無裂紋1IC-ITO95-01OK無無00無2IC-ITO95-02OK無無11無3IC-ITO95-03OK無無00無4IC-ITO95-04OK無無10無5IC-ITO95-05OK無無10無6IC-ITO95-06OK無無00無7IC-ITO95-07OK無無10無8IC-ITO95-08OK無無10無9IC-ITO95-09OK無無01無10IC-ITO95-10OK無無00無11IC-ITO95-11OK無無00無12IC-ITO95-12OK無無00無13IC-ITO95-13OK無無00無14IC-ITO95-14OK無無01無15IC-ITO95-15OK無無00無16IC-ITO95-16OK無無00無17IC-ITO95-17OK無無10無18IC-ITO95-18OK無無00無19IC-ITO95-19OK無無11無20IC-ITO95-20OK無無10無表18公司3的氧化銦錫蒸發料的技術統計1IC-ITO90SnO2含量、相對密度、厚度和直徑數據統計表序號批次SnO2%相對密度厚度/mm直徑/mm1IC-ITO90-0110.0561.00%40.1030.052IC-ITO90-0210.0261.50%40.3530.023IC-ITO90-039.9860.50%39.8630.014IC-ITO90-049.9561.50%39.7830.045IC-ITO90-0510.1559.00%40.0430.036IC-ITO90-0610.1661.50%40.1030.047IC-ITO90-0710.0261.00%40.1630.028IC-ITO90-089.9859.80%39.9830.069IC-ITO90-099.9559.70%40.2630.0410IC-ITO90-1010.1260.70%40.4030.0711IC-ITO90-119.9859.80%40.3230.0112IC-ITO90-129.9259.00%39.8830.1013IC-ITO90-139.9661.00%40.2630.0514IC-ITO90-1410.1261.50%40.1830.0415IC-ITO90-1510.1459.00%40.0530.0616IC-ITO90-169.9559.50%39.9730.0817IC-ITO90-1710.1661.10%40.2430.0118IC-ITO90-1810.1061.50%40.3730.0519IC-ITO90-199.9559.80%39.7930.0220IC-ITO90-2010.1260.50%39.8430.0621IC-ITO90-2110.0460.700%40.1030.0422IC-ITO90-2210.1559.50%40.1530.0423IC-ITO90-2310.0559.50%40.1230.0624IC-ITO90-249.8559.80%40.0430.0825IC-ITO90-259.9660.70%39.9830.0126IC-ITO90-269.9359.00%39.9430.0527IC-ITO90-2710.1261.50%40.1430.0628IC-ITO90-2810.1561.00%40.0830.0229IC-ITO90-2910.0359.80%40.1030.0630IC-ITO90-3010.1161.50%40.3530.04表19公司3的氧化銦錫蒸發料的技術統計2IC-ITO90雜質成分含量數據統計表（ppm)序號批次FeAlSiSbPbCdNiCrTl1IC-ITO90-015676<3<1<11<12IC-ITO90-024545<3<1<11<13IC-ITO90-033434<3<1<11<14IC-ITO90-046363<3<1<1<1<15IC-ITO90-0510456<3<1<11<16IC-ITO90-068684<3<1<11<17IC-ITO90-076695<3<1<11<18IC-ITO90-0811534<3<1<11<19IC-ITO90-0913463<3<1<11<110IC-ITO90-106743<3<1<1<1<111IC-ITO90-115676<3<1<11<112IC-ITO90-124545<3<1<11<113IC-ITO90-133434<3<1<11<114IC-ITO90-146363<3<1<1<1<115IC-ITO90-1510456<3<1<11<116IC-ITO90-168684<3<1<11<117IC-ITO90-176695<3<1<11<118IC-ITO90-1811534<3<1<11<119IC-ITO90-1913463<3<1<11<120IC-ITO90-206743<3<1<1<1<121IC-ITO90-214545<3<1<11<122IC-ITO90-223434<3<1<11<123IC-ITO90-236363<3<1<1<1<124IC-ITO90-2410456<3<1<11<125IC-ITO90-258684<3<1<11<126IC-ITO90-266695<3<1<11<127IC-ITO90-2711534<3<1<11<128IC-ITO90-2813463<3<1<11<129IC-ITO90-296743<3<1<1<1<130IC-ITO90-308334<3<1<1<1<1表20公司3的氧化銦錫蒸發料的技術統計3IC-ITO90外觀檢測數據統計表序號批次外觀干凈無粉塵、無色差無異物無刮痕孔洞/坑點＜0.3x0.3mm，每顆≤5個崩角＜0.5mm，每顆≤5個無裂紋1IC-ITO90-01OK無無00無2IC-ITO90-02OK無無01無3IC-ITO90-03OK無無00無4IC-ITO90-04OK無無10無5IC-ITO90-05OK無無00無6IC-ITO90-06OK無無00無7IC-ITO90-07OK無無00無8IC-ITO90-08OK無無00無9IC-ITO90-09OK無無01無10IC-ITO90-10OK無無00無11IC-ITO90-11OK無無20無12IC-ITO90-12OK無無00無13IC-ITO90-13OK無無10無14IC-ITO90-14OK無無00無15IC-ITO90-15OK無無00無16IC-ITO90-16OK無無00無17IC-ITO90-17OK無無01無18IC-ITO90-18OK無無00無19IC-ITO90-19OK無無10無20IC-ITO90-20OK無無00無21IC-ITO90-21OK無無00無22IC-ITO90-22OK無無02無23IC-ITO90-23OK無無00無24IC-ITO90-24OK無無00無25IC-ITO90-25OK無無10無26IC-ITO90-26OK無無00無27IC-ITO90-27OK無無01無28IC-ITO90-28OK無無00無29IC-ITO90-29OK無無01無30IC-ITO90-30OK無無00無表21公司3的氧化銦錫蒸發料的技術統計4IC-ITO95SnO2含量、相對密度、厚度和直徑數據統計表序號批次SnO2%相對密度厚度/mm直徑/mm1IC-ITO95-015.1757.50%20.1220.062IC-ITO95-025.1958.00%20.2520.043IC-ITO95-034.9557.50%20.1620.034IC-ITO95-045.2358.00%20.1420.055IC-ITO95-055.1956.50%20.1620.036IC-ITO95-065.0658.50%20.0920.067IC-ITO95-075.0458.00%20.1120.028IC-ITO95-085.2057.70%20.120.099IC-ITO95-095.0756.90%20.0220.0810IC-ITO95-105.1557.30%20.0720.1011IC-ITO95-114.9758.00%20.1120.0312IC-ITO95-125.1856.50%20.1520.0113IC-ITO95-135.1758.50%20.0920.0614IC-ITO95-145.1558.00%20.1620.0515IC-ITO95-155.1457.70%20.1920.1116IC-ITO95-165.1056.90%20.1620.0117IC-ITO95-175.1457.30%19.9520.0818IC-ITO95-185.2258.00%20.1520.0419IC-ITO95-195.1358.00%20.1320.0920IC-ITO95-205.0257.50%20.0920.0321IC-ITO95-215.2356.40%19.8520.0422IC-ITO95-225.2659.00%20.1120.0223IC-ITO95-234.9559.50%20.1520.0824IC-ITO95-245.2059.00%19.9620.0225IC-ITO95-255.2458.50%20.0120.1026IC-ITO95-264.8958.00%20.0420.0327IC-ITO95-275.2359.00%19.9620.0228IC-ITO95-285.1557.50%20.0120.0329IC-ITO95-295.2056.00%20.0420.0130IC-ITO95-305.0556.50%19.9820.08表22公司3的氧化銦錫蒸發料的技術統計5IC-ITO95雜質成分含量數據統計表（ppm)序號批次FeAlSiSbPbCdNiCrTl1IC-ITO95-016985<3<1<11<12IC-ITO95-026876<3<1<11<13IC-ITO95-0374107<3<1<11<14IC-ITO95-046356<3<1<11<15IC-ITO95-056664<3<1<12<16IC-ITO95-0679105<3<1<11<17IC-ITO95-0761086<3<1<11<18IC-ITO95-0861096<3<1<11<19IC-ITO95-0971186<3<1<11<110IC-ITO95-109845<3<1<11<111IC-ITO95-117834<3<1<11<112IC-ITO95-127865<3<1<11<113IC-ITO95-1391096<3<1<11<114IC-ITO95-1410647<3<1<12<115IC-ITO95-156487<3<1<12<116IC-ITO95-1661086<3<1<12<117IC-ITO95-176756<3<1<12<118IC-ITO95-186874<3<1<12<119IC-ITO95-196584<3<1<12<120IC-ITO95-207454<3<1<12<121IC-ITO95-215534<3<1<12<122IC-ITO95-225595<3<1<12<123IC-ITO95-237494<3<1<12<124IC-ITO95-245974<3<1<12<125IC-ITO95-255963<3<1<12<126IC-ITO95-266764<3<1<12<127IC-ITO95-277574<3<1<12<128IC-ITO95-286634<3<1<12<129IC-ITO95-296745<3<1<12<130IC-ITO95-3010334<3<1<12<1表23公司3的氧化銦錫蒸發料的技術統計6IC-ITO95外觀檢測數據統計表序號批次外觀干凈無粉塵、無色差無異物無刮痕孔洞/坑點＜0.3x0.3mm，每顆≤5個崩角＜0.5mm，每顆≤5個無裂紋1IC-ITO95-01OK無無00無2IC-ITO95-02OK無無00無3IC-ITO95-03OK無無10無4IC-ITO95-04OK無無00無5IC-ITO95-05OK無無00無6IC-ITO95-06OK無無00無7IC-ITO95-07OK無無00無8IC-ITO95-08OK無無00無9IC-ITO95-09OK無無00無10IC-ITO95-10OK無無00無11IC-ITO95-11OK無無00無12IC-ITO95-12OK無無00無13IC-ITO95-13OK無無10無14IC-ITO95-14OK無無00無15IC-ITO95-15OK無無00無16IC-ITO95-16OK無無01無17IC-ITO95-17OK無無00無18IC-ITO95-18OK無無00無19IC-ITO95-19OK無無00無20IC-ITO95-20OK無無00無21IC-ITO95-21OK無無00無22IC-ITO95-22OK無無00無23IC-ITO95-23OK無無10無24IC-ITO95-24OK無無01無25IC-ITO95-25OK無無00無26IC-ITO95-26OK無無00無27IC-ITO95-27OK無無00無28IC-ITO95-28OK無無10無29IC-ITO95-29OK無無00無30IC-ITO95-30OK無無00無表24公司4的氧化銦錫蒸發料的技術統計1IC-ITO90SnO2含量、相對密度、厚度和直徑數據統計表序號批次SnO2%相對密度厚度/mm直徑/mm1ACE-ITO90-0110.1160.20%10.1525.022ACE-ITO90-0210.0560.50%10.0825.103ACE-ITO90-039.8959.20%10.1125.034ACE-ITO90-0410.0759.50%10.1725.055ACE-ITO90-059.8660.10%10.0625.096ACE-ITO90-0610.2359.00%20.0620.107ACE-ITO90-0710.1560.40%20.1220.088ACE-ITO90-089.9259.00%20.1120.089ACE-ITO90-0910.1060.30%20.1420.0510ACE-ITO90-1010.0860.00%20.0820.0911ACE-ITO90-1110.1559.80%40.1320.0312ACE-ITO90-1210.0858.90%40.2520.1013ACE-ITO90-139.8659.60%40.1220.0414ACE-ITO90-149.9660.40%40.1620.0415ACE-ITO90-159.9359.60%40.0620.06表25公司4的氧化銦錫蒸發料的技術統計2IC-ITO90雜質成分含量數據統計表（ppm)序號批次FeAlSiSbPbCdNiCrTl1ACE-ITO90-0185932<2<1<1<12ACE-ITO90-02113721<2<1<1<13ACE-ITO90-0393832<2<1<1<14ACE-ITO90-04105511<2<1<1<15ACE-ITO90-0574641<2<1<1<16ACE-ITO90-0683942<2<1<1<17ACE-ITO90-0775712<2<1<1<18ACE-ITO90-0854811<2<1<1<19ACE-ITO90-0944531<2<1<1<110ACE-ITO90-1055622<2<1<1<111ACE-ITO90-1132921<2<1<1<112ACE-ITO90-1294731<2<1<1<113ACE-ITO90-13103832<2<1<1<114ACE-ITO90-1464542<2<1<1<115ACE-ITO90-15115611<2<1<1<1表26公司4的氧化銦錫蒸發料的技術統計3IC-ITO90外觀檢測數據統計表序號批次外觀干凈無粉塵、無色差無異物無刮痕孔洞/坑點＜0.3x0.3mm，每顆≤5個崩角＜0.5mm，每顆≤5個無裂紋1ACE-ITO90-01OK無無00無2ACE-ITO90-02OK無無10無3ACE-ITO90-03